[实用新型]一种多坩埚旋转平台有效
| 申请号： | 202120671731.4 | 申请日： | 2021-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN215251118U | 公开（公告）日： | 2021-12-21 |
| 发明（设计）人： | 杨露明;冯秋洁 | 申请（专利权）人： | 杭州星河材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 潘登 |
| 地址： | 310000 浙江省杭州市滨江区浦*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种多坩埚旋转平台，所述多坩埚旋转平台包括坩埚托架以及设置于坩埚托架上方的坩埚盖；所述坩埚托架的底部设置有第一支撑轴；所述第一支撑轴控制坩埚托架沿第一支撑轴的轴向位移，并控制坩埚托架沿第一支撑轴的轴向旋转；所述坩埚盖与位移装置连接；所述位移装置控制坩埚盖沿第一支撑轴的轴向位移；所述坩埚托架设置有放置坩埚的至少2个通孔；所述坩埚盖设置有第一凹槽，所述第一凹槽用于露出至少2个通孔中的1个通孔。本实用新型通过第一支撑轴与坩埚盖的设置，通过坩埚托架的上升、旋转以及下降，完成第一凹槽处露出坩埚的切换，从而实现在不破真空的条件下，完成多种材料的交替蒸发镀膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 坩埚 旋转 平台 | ||
【主权项】：
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