[实用新型]一种多坩埚旋转平台

权利要求书

1.一种多坩埚旋转平台，其特征在于，所述多坩埚旋转平台包括坩埚托架以及设置于坩埚托架上方的坩埚盖；

所述坩埚托架的底部设置有第一支撑轴；所述第一支撑轴控制坩埚托架沿第一支撑轴的轴向位移，并控制坩埚托架沿第一支撑轴的轴向旋转；

所述坩埚盖与位移装置连接；所述位移装置控制坩埚盖沿第一支撑轴的轴向位移；

所述坩埚托架设置有放置坩埚的至少2个通孔；所述坩埚盖设置有第一凹槽，所述第一凹槽用于露出至少2个通孔中的1个通孔。

2.根据权利要求1所述的多坩埚旋转平台，其特征在于，所述坩埚托架的中心轴与第一支撑轴的轴线重合。

3.根据权利要求2所述的多坩埚旋转平台，其特征在于，所述至少2个通孔中的每个通孔距离坩埚托架中心轴的距离相等。

4.根据权利要求2或3所述的多坩埚旋转平台，其特征在于，所述坩埚托架为圆形坩埚托架。

5.根据权利要求1所述的多坩埚旋转平台，其特征在于，所述多坩埚旋转平台还包括外壳，所述坩埚托架设置于所述外壳的顶部；

所述外壳的形状使第一凹槽露出的1个通孔位于外壳外部。

6.根据权利要求1所述的多坩埚旋转平台，其特征在于，所述位移装置为至少1个第二支撑轴；所述第二支撑轴的轴向与第一支撑轴的轴向平行。

7.根据权利要求1所述的多坩埚旋转平台，其特征在于，所述坩埚盖还设置有加料缺口以及与加料缺口对应的缺口挡板；所述加料缺口用于露出所述至少2个通孔中的1个通孔；所述缺口挡板用于遮挡加料缺口。

8.根据权利要求1所述的多坩埚旋转平台，其特征在于，所述通孔为圆台状通孔；

所述圆台状通孔的大径端位于坩埚托架的顶部，圆台状通孔的小径端位于坩埚托架的底部。

9.根据权利要求8所述的多坩埚旋转平台，其特征在于，所述多坩埚旋转平台所用坩埚包括圆柱状主体端以及圆台状开口端；

所述圆台状开口端的形状与圆台状通孔的形状匹配。

10.根据权利要求8所述的多坩埚旋转平台，其特征在于，所述坩埚包括内层与保护层；

所述内层形成圆柱状主体端，所述保护层设置于内层的外侧，并延伸形成所述圆台状开口端。