[实用新型]一种可控制纳米压印胶层厚度的纳米压印设备有效
| 申请号： | 202120671232.5 | 申请日： | 2021-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN214409580U | 公开（公告）日： | 2021-10-15 |
| 发明（设计）人： | 冀然 | 申请（专利权）人： | 青岛天仁微纳科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 山东重诺律师事务所 37228 | 代理人： | 王鹏里 |
| 地址： | 266109 山东省青岛市城阳区城*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种可控制纳米压印胶层厚度的纳米压印设备，所述PET承载单元的下方设有固定设有圆形基片承载单元，操作台上固定安装有厚度控制单元，且厚度控制单元分为相同的两组分别位于圆形基片承载单元的两侧，所述PET承载单元的下端右侧固定安装有PET，所述圆形基片承载单元的上端固定安装有基片。因为旋涂用的胶体要满足良好的流动性，保证结构填充完整，一般会添加溶剂导致其无法填充较深的纳米结构，所以无法旋涂匀胶的方式获得均匀的大于10微米的胶层的问题，本实用新型能够精确控制压印胶层的最终厚度，并保证整片胶层厚度的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 控制 纳米 压印 厚度 设备 | ||
【主权项】：
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