[实用新型]测试平台有效
| 申请号： | 202120669587.0 | 申请日： | 2021-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN213456087U | 公开（公告）日： | 2021-06-15 |
| 发明（设计）人： | 柯百龙;王涛 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司;台积电（中国）有限公司 |
| 主分类号： | G01M13/00 | 分类号： | G01M13/00;G01B21/02;G01B21/22;G01B21/30 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 刘敏 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种测试平台，用于监测待测设备的运行精度，该测试平台包括：基座，包括固定架和与固定架连接的基准件，固定架用于固定待测设备，基准件具有朝向待测设备的运动部件的基准面；驱动装置，与基座连接，驱动装置用于为运动部件提供动力；感测单元，设置于运动部件上，用于感测运动部件运动到指定位置后其与基准面之间的距离或者角度；数据处理单元，配置为根据感测单元感测的距离与预设距离之间的偏差或者角度与预设角度之间的偏差判断待测设备是否满足验收要求。该测试平台能够自动监测待测设备的运行精度，并进行可量化的数据分析，提高了测试效率和测试结果的可信度。 | ||
| 搜索关键词： | 测试 平台 | ||
【主权项】：
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