[实用新型]测试平台

权利要求书

1.一种测试平台，用于监测待测设备的运行精度，其特征在于，所述测试平台包括：

基座，包括固定架和与所述固定架连接的基准件，所述固定架用于固定所述待测设备，所述基准件具有朝向所述待测设备的运动部件的基准面；

驱动装置，与所述基座连接，所述驱动装置用于为所述运动部件提供动力；

感测单元，设置于所述运动部件上，用于感测所述运动部件运动到指定位置后其与所述基准面之间的距离或者角度；

数据处理单元，配置为根据所述感测单元感测的所述距离与预设距离之间的偏差或者所述角度与预设角度之间的偏差判断所述待测设备是否满足验收要求。

2.根据权利要求1所述的测试平台，其特征在于，所述感测单元包括至少三个位移传感器，所述至少三个位移传感器设置于所述运动部件的朝向所述基准面一侧的平面上。

3.根据权利要求2所述的测试平台，其特征在于，在所述运动部件的每个运行周期内，所述至少三个位移传感器感测的距离与预设距离之间的偏差均值或者所述角度与预设角度之间的偏差绝对值均值为a，所述待测设备的偏差阈值为b，如果a≤b，则所述数据处理单元判断所述待测设备满足验收要求。

4.根据权利要求2所述的测试平台，其特征在于，在所述运动部件的第i个运行周期内，所述至少三个位移传感器感测的距离与预设距离之间的偏差绝对值均值或者所述角度与预设角度之间的偏差绝对值均值为a_i，其中，0i≤n，i、n为自然数，所述待测设备的偏差阈值为b，所述运动部件的精度指数为T，且

如果T≤0.5时，且所述待测设备为未投入使用的新设备，则所述数据处理单元判断所述待测设备满足新设备的验收要求。

5.根据权利要求4所述的测试平台，其特征在于，如果0.5T≤1，且所述待测设备为维修后的旧设备，则所述数据处理单元判断所述待测设备满足旧设备的验收要求。

6.根据权利要求4所述的测试平台，其特征在于，如果1T≤2，且所述待测设备为维修后的旧设备，则所述数据处理单元判断所述待测设备的运行精度满足旧设备在有限使用期限内的验收要求。

7.根据权利要求4所述的测试平台，其特征在于，如果T2，且所述待测设备为维修后的旧设备，则所述数据处理单元判断所述待测设备不满足验收要求。

8.根据权利要求1所述的测试平台，其特征在于，所述运动部件由初始位置运动至所述指定位置，所述测试平台还包括设置于所述固定架上的第一传感器和第二传感器，所述第一传感器对应于所述初始位置设置，所述第二传感器对应于所述指定位置设置；当所述运动部件到达所述初始位置时，所述第一传感器输出第一电信号，当所述运动部件到达所述指定位置时，所述第二传感器输出第二电信号。

9.根据权利要求8所述的测试平台，其特征在于，还包括继电器，所述继电器与所述驱动装置电连接，所述继电器根据所述第一传感器发出的第一电信号关闭所述驱动装置，并间隔第一预定时间后启动所述驱动装置正向转动；所述继电器根据所述第二传感器发出的第二电信号关闭所述驱动装置，并间隔第二预定时间后启动所述驱动装置反向转动。

10.根据权利要求1所述的测试平台，其特征在于，所述待测设备为用于举升晶圆的承载装置，所述运动部件为沿竖直方向来回运动的承载平台，所述感测单元用于感测所述承载平台运动到指定位置后其与所述基准面之间的距离，以检测所述承载平台的平面度。