[实用新型]测试平台

说明书

本申请涉及一种测试平台，用于监测待测设备的运行精度，该测试平台包括：基座，包括固定架和与固定架连接的基准件，固定架用于固定待测设备，基准件具有朝向待测设备的运动部件的基准面；驱动装置，与基座连接，驱动装置用于为运动部件提供动力；感测单元，设置于运动部件上，用于感测运动部件运动到指定位置后其与基准面之间的距离或者角度；数据处理单元，配置为根据感测单元感测的距离与预设距离之间的偏差或者角度与预设角度之间的偏差判断待测设备是否满足验收要求。该测试平台能够自动监测待测设备的运行精度，并进行可量化的数据分析，提高了测试效率和测试结果的可信度。

技术领域

本申请涉及半导体技术领域，具体涉及一种测试平台。

背景技术

在半导体器件生产制造领域，光刻是非常关键的工艺。一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序。为了完成这些工序，通常会设计各种设备来承载晶圆。这些设备在正式投入使用之前或者发生故障维修之后，通常需要检测设备的运行精度。如果设备运行时间较长的话，需要安排操作人员监控这些设备，以免发生意外影响测试结果，测试成本较高。

实用新型内容

本申请的目的是提供一种测试平台，该测试平台可以自动监测待测设备的运行精度。

为此，本申请实施例提出了一种测试平台，用于监测待测设备的运行精度，该测试平台包括：基座，包括固定架和与固定架连接的基准件，固定架用于固定待测设备，基准件具有朝向待测设备的运动部件的基准面；驱动装置，与基座连接，驱动装置用于为运动部件提供动力；感测单元，设置于运动部件上，用于感测运动部件运动到指定位置后其与基准面之间的距离或者角度；数据处理单元，配置为根据感测单元感测的距离与预设距离之间的偏差或者角度与预设角度之间的偏差判断待测设备是否满足验收要求。

根据本申请实施例的一个方面，感测单元包括至少三个位移传感器，至少三个位移传感器设置于运动部件的朝向基准面一侧的平面上。

根据本申请实施例的一个方面，在运动部件的每个运行周期内，至少三个位移传感器感测的距离与预设距离之间的偏差均值或者角度与预设角度之间的偏差绝对值均值为a，待测设备的偏差阈值为b，如果a≤b，则数据处理单元判断待测设备满足验收要求。

根据本申请实施例的一个方面，在运动部件的第i个运行周期内，至少三个位移传感器感测的距离与预设距离之间的偏差绝对值均值或者角度与预设角度之间的偏差绝对值均值为a_i，其中，0i≤n，i、n为自然数，待测设备的偏差阈值为b，运动部件的精度指数为T，且如果T≤0.5时，且待测设备为未投入使用的新设备，则数据处理单元判断待测设备满足新设备的验收要求。

根据本申请实施例的一个方面，如果0.5T≤1，且待测设备为维修后的旧设备，则数据处理单元判断待测设备满足旧设备的验收要求。

根据本申请实施例的一个方面，如果1T≤2，且待测设备为维修后的旧设备，则数据处理单元判断待测设备满足旧设备在有限使用期限内的验收要求。

根据本申请实施例的一个方面，如果T2，且待测设备为维修后的旧设备，则数据处理单元判断待测设备不满足验收要求。

根据本申请实施例的一个方面，运动部件由初始位置运动至指定位置，测试平台还包括设置于固定架上的第一传感器和第二传感器，第一传感器对应于初始位置设置，第二传感器对应于指定位置设置；当运动部件到达初始位置时，第一传感器输出第一电信号；当运动部件到达指定位置时，第二传感器输出第二电信号。

根据本申请实施例的一个方面，测试平台还包括继电器，继电器与驱动装置电连接，继电器根据第一传感器发出的第一电信号关闭驱动装置，并间隔第一预定时间后启动驱动装置正向转动；继电器根据第二传感器发出的第二电信号关闭驱动装置，并间隔第二预定时间后启动驱动装置反向转动。