[实用新型]一种七轴机械手臂及去胶机有效
| 申请号： | 202120648378.8 | 申请日： | 2021-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN214520190U | 公开（公告）日： | 2021-10-29 |
| 发明（设计）人： | 王冲;沈云清 | 申请（专利权）人： | 宁波润华全芯微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | B25J9/02 | 分类号： | B25J9/02;B25J9/00 |
| 代理公司： | 浙江中桓凯通专利代理有限公司 33376 | 代理人： | 李美宝 |
| 地址： | 315400 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种七轴机械手臂及去胶机，所述七轴机械手臂包括：五轴夹取装置，包括：旋转机构和转动连接所述旋转机构的四个夹取机构；水平运动机构，所述水平运动机构滑动连接所述旋转机构；竖直运动机构，所述竖直运动机构滑动连接所述水平运动机构。本实用新型解决了晶圆的夹取机构自由度低，水平移动范围较小的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 机械 手臂 去胶机 | ||
【主权项】：
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