[实用新型]一种七轴机械手臂及去胶机

说明书

本实用新型公开了一种七轴机械手臂及去胶机，所述七轴机械手臂包括：五轴夹取装置，包括：旋转机构和转动连接所述旋转机构的四个夹取机构；水平运动机构，所述水平运动机构滑动连接所述旋转机构；竖直运动机构，所述竖直运动机构滑动连接所述水平运动机构。本实用新型解决了晶圆的夹取机构自由度低，水平移动范围较小的问题。

技术领域

本实用新型涉及半导体行业晶片领域，尤其涉及一种七轴机械手臂及去胶机。

背景技术

目前，在晶圆的去胶、清洗工艺中，需要对晶圆进行转移。具体的，晶圆在去胶后，晶圆上沾有去胶液及其他杂质，通过晶圆夹取装置将晶圆依次放入片盒中，再将片盒放入浸泡装置中清洗晶圆。

现有的晶圆夹取装置，通过旋转机构以及旋转机构上的直线运动机构实现夹取机构在水平方向的运动，但是旋转机构上的直线运动机构尺寸受旋转机构尺寸限制，直线运动机构的运动范围较小，不能长距离水平运动，因此不能用于大型去胶机或组合式去胶机。

实用新型内容

因此，本实用新型实施例提供一种七轴机械手臂，解决了晶圆的夹取机构自由度低，水平移动范围较小的问题。

一方面，本实用新型实施例提供一种七轴机械手臂，包括：五轴夹取装置，包括：旋转机构和转动连接所述旋转机构的四个夹取机构；水平运动机构，所述水平运动机构滑动连接所述旋转机构；竖直运动机构，所述竖直运动机构滑动连接所述水平运动机构。

采用该技术方案后所达到的技术效果：所述水平运动机构能够带动所述五轴夹取装置在水平面上进行直线运动，从而扩大了所述七轴机械手臂的夹取范围，弥补了所述旋转机构上，所述夹取机构本身的直线运动范围有限的问题。

在本实用新型第一个实施例中，所述水平运动机构包括：支撑板；滑动板，位于所述支撑板的一侧；水平运动支架，位于所述支撑板相对所述滑动板的另一侧，并连接所述滑动板。

采用该技术方案后所达到的技术效果：所述水平运动支架卡设于所述支撑板上，实现了所述五轴夹取装置的固定；所述滑动板用于传递动力，带动所述水平运动支架运动。

在本实用新型第一个实施例中，所述水平运动机构还包括：至少一个水平从动组件，滑动连接所述水平运动支架；水平驱动组件，连接所述水平运动支架，能够带动所述水平运动支架在所述水平从动组件上滑动。

采用该技术方案后所达到的技术效果：所述水平从动组件用于固定所述五轴夹取装置，所述水平驱动组件用于给水平运动支架和/或所述五轴夹取装置提供水平运动的动力。

在本实用新型第一个实施例中，所述水平从动组件包括拖链组件和/或至少一个滑块导轨组件。

采用该技术方案后所达到的技术效果：所述拖链用于保护线路，使线路能够跟随所述五轴夹取装置移动；所述滑块导轨组件能够支撑所述滑动板。

在本实用新型第一个实施例中，所述水平驱动组件包括：同步带组件，包括：同步带、以及配合所述同步带的同步带轮和齿条；其中，所述齿条连接所述滑动板。

采用该技术方案后所达到的技术效果：所述同步带轮用于接收电机的动力，带动所述同步带运动，所述齿条跟随所述同步带运动，并带动所述滑动板运动。

在本实用新型第一个实施例中，所述旋转机构还包括：转轴以及驱动所述转轴的电机；其中，所述电机位于所述水平运动支架内，所述转轴连接并伸出所述水平运动支架。

采用该技术方案后所达到的技术效果：所述转轴用于带动四个所述夹取机构旋转；所述电机安装于所述水平运动支架内能够充分利用安装空间。

在本实用新型第一个实施例中，所述五轴夹取装置还包括：底板，与所述转轴伸出所述水平运动支架的一端固定；其中，所述夹取机构连接所述底板的顶面和/或底面。