[实用新型]一种多视场波前测量装置有效
| 申请号： | 202120645546.8 | 申请日： | 2021-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN214843650U | 公开（公告）日： | 2021-11-23 |
| 发明（设计）人： | 马晓燠;杨奇龙;魏裕平;刘会龙;樊志华;李成平;游双慧;贾天豪 | 申请（专利权）人： | 重庆连芯光电技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | G01J9/00 | 分类号： | G01J9/00 |
| 代理公司： | 重庆西南华渝专利代理有限公司 50270 | 代理人： | 郭桂林 |
| 地址： | 400021 重庆市*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本实用新型属于光学检测领域，公开了一种多视场波前测量装置，包括光源系统、准直系统、被测件、视场光阑、耦合镜组和哈特曼传感器；准直系统设置在光源的输出光路上；被测件、视场光阑、耦合镜组和哈特曼传感器依次设置在经准直系统后的输出光路上，且光源系统输出的光线依次通过准直系统、被测件、视场光阑和耦合镜组，最后达到哈特曼传感器。本实用新型的装置结构简单，购置成本低；简化了哈特曼测试工装与调试流程；可实现哈特曼自动对准与自动调焦地多视场波前测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 视场 测量 装置 | ||
【主权项】：
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