[实用新型]一种多视场波前测量装置

说明书

本实用新型属于光学检测领域，公开了一种多视场波前测量装置，包括光源系统、准直系统、被测件、视场光阑、耦合镜组和哈特曼传感器；准直系统设置在光源的输出光路上；被测件、视场光阑、耦合镜组和哈特曼传感器依次设置在经准直系统后的输出光路上，且光源系统输出的光线依次通过准直系统、被测件、视场光阑和耦合镜组，最后达到哈特曼传感器。本实用新型的装置结构简单，购置成本低；简化了哈特曼测试工装与调试流程；可实现哈特曼自动对准与自动调焦地多视场波前测量。

技术领域

本实用新型涉及光学检测领域，特别涉及一种多视场波前测量装置。

背景技术

成像系统作为光学系统的一个重要分支，广泛应用在人类生产生活的各个方面。但是受到加工材质，加工精度和镜片结构等因素的限制，实际光学系统所成的像都不可能完全符合理想，从而形成像差。像差形成的主要原因是大气湍流造成了空气折射率的随机变化，光波在大气中传播时波前发生了畸变，导致目标在成像设备上的图像产生模糊，降低了目标的成像质量。除了上述原因，在光学系统中由于透镜材料的特性、折射或反射表面的几何形状等也会引起实际所成像与理想所成像的偏差。像差会使成像变得模糊和失真，使得物体通过光学系统后其成像不能准确无误地再现物体原形。像差大小也就代表了光学系统成像质量的优劣，其会影响图像质量，同时又是不可避免的。

随着自适应光学技术的发展，人们对成像要求也越来越高，在许多应用中成像系统的像差都具有一定的容忍度，各种波前传感器也应运而生。夏克-哈特曼波前传感器、曲率传感器和四棱锥波前传感器等得到了广泛研究且成功应用于诸多光学领域，其中，哈特曼波前测量仪已广泛应用在成像系统波前测量,但现有的测量仪器仍然存在如下缺陷：（1）设备架设及调试比较复杂,并且测量装置一般仅测量成像系统的中心视场的波前,而成像系统的外视场的波前也是一项重要的性能指标；（2）哈特曼波前测量仪子孔径视场有限,对于大视场成像系统无法测量轴外视场波前；（3）减少像差所需的成本会急剧上升，根据镜头复杂程度不一样，成本从几百元到几十万元不等。因此，波前检测装置的研究对光学系统有着至关重要的影响。

实用新型内容

本实用新型的目的是提出一种多视场波前测量装置，其结构简单，购置成本低；简化了哈特曼测试工装与调试流程；可实现哈特曼自动对准与自动调焦地多视场波前测量。

实现本实用新型目的的技术方案是：

一种多视场波前测量装置，包括光源系统、准直系统、被测件、视场光阑、耦合镜组和哈特曼传感器；准直系统设置在光源的输出光路上；被测件、视场光阑、耦合镜组和哈特曼传感器依次设置在经准直系统后的输出光路上，且光源系统输出的光线依次通过准直系统、被测件、视场光阑和耦合镜组，最后达到哈特曼传感器。

（1）本实用新型结构简单，设备架设及调试比较方便,可测量成像系统的外视场波前。

（2）本实用新型的装置简单易得，极大地节约了测试设备的购置成本。

（3）本实用新型通过集成光源系统、准直系统、被测件夹具、被测件位置与方向调节装置、视场光阑、耦合镜组和哈特曼传感器，简化了哈特曼测试工装与调试流程。

（4）本实用新型通过被测件位置与方向调节装置可精确控制被测视场角，可实现哈特曼自动对准与自动调焦地多视场波前测量。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型装置的一种整体结构示意图。

图2是本实用新型光源系统的一种结构示意图。

图3是本实用新型光源系统的另一种结构示意图。