[实用新型]一种多视场波前测量装置

权利要求书

1.一种多视场波前测量装置，其特征在于，包括光源系统（1）、准直系统（2）、被测件（3）、视场光阑（4）、耦合镜组（5）和哈特曼传感器（6）；准直系统（2）设置在光源（101）的输出光路上；被测件（3）、视场光阑（4）、耦合镜组（5）和哈特曼传感器（6）依次设置在经准直系统（2）后的输出光路上。

2.根据权利要求1所述的一种多视场波前测量装置，其特征在于，还包括夹具（7）与调节装置（8），其中，夹具（7）用于支撑被测件（3）；调节装置（8）与夹具（7）固定连接，用于调节被测件（3）的位置与方向。

3.根据权利要求2所述的一种多视场波前测量装置，其特征在于，所述调节装置（8）包括三维调整机构（801）和旋转平台（802）。

4.根据权利要求3所述的一种多视场波前测量装置，其特征在于，所述被测件（3）的入瞳位于旋转平台（802）的旋转中心。

5.根据权利要求1或2所述的一种多视场波前测量装置，其特征在于，所述光源系统（1）包括光源（101）、孔径光阑（104）以及设置于光源（101）和孔径光阑（104）之间的滤光片（103）。

6.根据权利要求5所述的一种多视场波前测量装置，其特征在于，所述光源（101）设置于灯箱（102）内，且灯箱（102）与滤光片（103）对应的一侧开设有出光孔。

7.根据权利要求5所述的一种多视场波前测量装置，其特征在于，所述光源（101）通过光源接口（105）连接积分球（106），积分球（106）与滤光片（103）对应的位置开设有出光孔。

8.根据权利要求1所述的一种多视场波前测量装置，其特征在于，所述准直系统（2）采用表面涂有一层铝保护层的离轴抛物镜面作为反射式准直仪，且准直仪的直径大于被测件（3）的入瞳孔径。