[实用新型]一种用于离子源零部件的阴极衬垫零点系统快换装置有效
| 申请号： | 202120639174.8 | 申请日： | 2021-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN214519783U | 公开（公告）日： | 2021-10-29 |
| 发明（设计）人： | 叶志强;顾施凯;李琨宇 | 申请（专利权）人： | 上海西普瀚芯电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B25B11/00 | 分类号： | B25B11/00 |
| 代理公司： | 上海秋冬专利代理事务所(普通合伙) 31414 | 代理人： | 张月 |
| 地址： | 201900 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于离子源零部件的阴极衬垫零点系统快换装置，属于装夹设备领域，包括安装箱、重复定位盘和夹具座，所述安装箱的顶部设置有夹具座，所述安装箱和夹具座之间通过重复定位盘相连接，所述安装箱的一侧上部设有控制座，所述控制座的下方分别设有增力气管接口和泄力气管接口，所述夹具座上设有凹槽一，所述凹槽一的两侧顶部均设有第一压板，所述夹具座的左右两侧壁上均安装有施力手柄，所述凹槽一的一端设有挡板，所述安装箱远离挡板的侧壁上设有第二压板，本实用新型中装夹方式变得快捷，重复定位变得精准，做到了预先装夹，节约了生产准备时间，提高了生产能力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 离子源 零部件 阴极 衬垫 零点 系统 装置 | ||
【主权项】：
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