[实用新型]一种用于离子源零部件的阴极衬垫零点系统快换装置有效
申请号: | 202120639174.8 | 申请日: | 2021-03-30 |
公开(公告)号: | CN214519783U | 公开(公告)日: | 2021-10-29 |
发明(设计)人: | 叶志强;顾施凯;李琨宇 | 申请(专利权)人: | 上海西普瀚芯电子科技有限公司 |
主分类号: | B25B11/00 | 分类号: | B25B11/00 |
代理公司: | 上海秋冬专利代理事务所(普通合伙) 31414 | 代理人: | 张月 |
地址: | 201900 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 离子源 零部件 阴极 衬垫 零点 系统 装置 | ||
本实用新型公开了一种用于离子源零部件的阴极衬垫零点系统快换装置,属于装夹设备领域,包括安装箱、重复定位盘和夹具座,所述安装箱的顶部设置有夹具座,所述安装箱和夹具座之间通过重复定位盘相连接,所述安装箱的一侧上部设有控制座,所述控制座的下方分别设有增力气管接口和泄力气管接口,所述夹具座上设有凹槽一,所述凹槽一的两侧顶部均设有第一压板,所述夹具座的左右两侧壁上均安装有施力手柄,所述凹槽一的一端设有挡板,所述安装箱远离挡板的侧壁上设有第二压板,本实用新型中装夹方式变得快捷,重复定位变得精准,做到了预先装夹,节约了生产准备时间,提高了生产能力。
技术领域
本实用新型涉及装夹设备领域,具体是涉及一种用于离子源零部件的阴极衬垫零点系统快换装置。
背景技术
离子注入机的一个重要组件是离子源,离子源所生成的等离子体的质量和生成速度将直接影响整个工艺的质量和速度。需要对离子源零部件部件进行加工,现有加工装置的加工过程:1、使用平口钳装夹10件零件,然后使用百分表校准基准面,完成后用502胶水把零件粘牢固;2、把黏牢固的零件安装到加工机床上,再次使用百分表校准基准面,校准后开始加工,缺点:1、装夹繁琐,容易出现装夹误差,影响加工精度;2、装夹消耗的时间极长,效率低下;3、受装夹方式的影响,一次装夹的数量少,影响生产能力。
因此,需要提供一种用于离子源零部件的阴极衬垫零点系统快换装置,旨在解决上述问题。
发明内容
针对现有技术存在的不足,本实用新型实施例的目的在于提供一种用于离子源零部件的阴极衬垫零点系统快换装置,以解决上述背景技术中的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:
一种用于离子源零部件的阴极衬垫零点系统快换装置,包括安装箱、重复定位盘和夹具座,所述安装箱的顶部设置有夹具座,所述安装箱和夹具座之间通过重复定位盘相连接,所述安装箱的一侧上部设有控制座,所述控制座的下方分别设有增力气管接口和泄力气管接口,所述夹具座安装在重复定位盘上,所述夹具座上设有凹槽一,所述凹槽一的两侧顶部均设有第一压板,所述夹具座的左右两侧壁上均安装有施力手柄,所述凹槽一的一端设有挡板,所述安装箱远离挡板的侧壁上设有第二压板。
作为本实用新型进一步的方案,所述第一压板的截面形状为L型,所述第一压板上均匀设有安装孔一,所述凹槽一的顶部两侧均匀设有螺孔二,所述螺孔二设置在夹具座的顶部,所述安装孔一的位置与螺孔二的位置相对应,所述第一压板通过螺栓一固定安装在夹具座上。
作为本实用新型进一步的方案,所述第二压板包括压板下部和压板上部,所述压板下部上设有外螺纹,所述夹具座的一侧顶部设有螺孔三,所述螺孔三的数量为两个,两个所述螺孔三分别设置在凹槽一的两侧,所述第二压板通过压板下部和螺孔三安装在夹具座上。
作为本实用新型进一步的方案,所述施力手柄的数量为两个,两个所述施力手柄的底部均设有安装杆,所述夹具座的侧壁中部设有螺孔一,两个所述施力手柄通过安装杆和螺孔一安装在夹具座上。
作为本实用新型进一步的方案,所述凹槽一的底部两侧均设有凹槽二,所述凹槽一为矩形凹槽,所述凹槽二为弧形凹槽,所述挡板的形状与凹槽一的形状相同,所述挡板的底部两端均设有凸块,所述凸块的形状为弧形,所述凸块的大小和形状与凹槽二的大小和形状相同;所述控制座上设置有控制阀门,所述控制阀门与重复定位盘之间电性连接。
综上所述,本实用新型实施例与现有技术相比具有以下有益效果:
本实用新型中装夹方式变得快捷,重复定位变得精准;做到了预先装夹,节约了生产准备时间;提高了生产能力。
为更清楚地阐述本实用新型的结构特征和功效,下面结合附图与具体实施例来对本实用新型进行详细说明。
附图说明
图1为本实用新型实施例的整体结构示意图。
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