[实用新型]一种用于离子源零部件的阴极衬垫零点系统快换装置

权利要求书

1.一种用于离子源零部件的阴极衬垫零点系统快换装置，包括安装箱(1)、重复定位盘(2)和夹具座(3)，其特征在于，所述安装箱(1)的顶部设置有夹具座(3)，所述安装箱(1)和夹具座(3)之间通过重复定位盘(2)相连接，所述安装箱(1)的一侧上部设有控制座(7)，所述控制座(7)的下方分别设有增力气管接口(8)和泄力气管接口(9)，所述夹具座(3)安装在重复定位盘(2)上，所述夹具座(3)上设有凹槽一(302)，所述凹槽一(302)的两侧顶部均设有第一压板(4)，所述夹具座(3)的左右两侧壁上均安装有施力手柄(6)，所述凹槽一(302)的一端设有挡板(305)，所述安装箱(1)远离挡板(305)的侧壁上设有第二压板(5)。

2.根据权利要求1所述的一种用于离子源零部件的阴极衬垫零点系统快换装置，其特征在于，所述第一压板(4)的截面形状为L型，所述第一压板(4)上均匀设有安装孔一(401)，所述凹槽一(302)的顶部两侧均匀设有螺孔二(304)，所述螺孔二(304)设置在夹具座(3)的顶部，所述安装孔一(401)的位置与螺孔二(304)的位置相对应。

3.根据权利要求1所述的一种用于离子源零部件的阴极衬垫零点系统快换装置，其特征在于，所述第二压板(5)包括压板下部(501)和压板上部(502)，所述压板下部(501)上设有外螺纹，所述夹具座(3)的一侧顶部设有螺孔三(306)，所述螺孔三(306)的数量为两个，两个所述螺孔三(306)分别设置在凹槽一(302)的两侧。

4.根据权利要求2所述的一种用于离子源零部件的阴极衬垫零点系统快换装置，其特征在于，所述施力手柄(6)的数量为两个，两个所述施力手柄(6)的底部均设有安装杆(601)，所述夹具座(3)的侧壁中部设有螺孔一(301)。

5.根据权利要求2所述的一种用于离子源零部件的阴极衬垫零点系统快换装置，其特征在于，所述凹槽一(302)的底部两侧均设有凹槽二(303)，所述凹槽一(302)为矩形凹槽，所述凹槽二(303)为弧形凹槽，所述挡板(305)的形状与凹槽一(302)的形状相同，所述挡板(305)的底部两端均设有凸块，所述凸块的形状为弧形，所述凸块的大小和形状与凹槽二(303)的大小和形状相同；所述控制座(7)上设置有控制阀门(701)，所述控制阀门(701)与重复定位盘(2)之间电性连接。