[实用新型]一种石英舟有效
| 申请号： | 202120612021.4 | 申请日： | 2021-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN213459672U | 公开（公告）日： | 2021-06-15 |
| 发明（设计）人： | 周建军;李守卫;杨广伟;陈泉;周军建;郁小虎 | 申请（专利权）人： | 义乌晶澳太阳能科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;H01L31/18 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 石艳红 |
| 地址： | 322005 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种石英舟，涉及太阳能电池制造技术领域。包括两个相对设置的面板和用于连接两个面板的连接组件，连接组件包括两个上连接板和两个下连接杆，两个上连接板的两端分别与面板的上半部连接，两个下连接杆的两端分别与面板的下半部连接，连接组件上至少设置有两组载片架，且载片架上设置有与连接组件的长度方向平行的插槽，还包括有硅片，插槽可供硅片插入，且插入后的硅片与所述面板垂直。本实用新型提供的一种石英舟，可以有效避免硅片对工艺气体的阻挡，可以让工艺腔室内气体快速分布均匀，提升反应后方阻/氧化层均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石英 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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