[实用新型]一种石英舟有效
申请号: | 202120612021.4 | 申请日: | 2021-03-26 |
公开(公告)号: | CN213459672U | 公开(公告)日: | 2021-06-15 |
发明(设计)人: | 周建军;李守卫;杨广伟;陈泉;周军建;郁小虎 | 申请(专利权)人: | 义乌晶澳太阳能科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L31/18 |
代理公司: | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人: | 石艳红 |
地址: | 322005 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 石英 | ||
1.一种石英舟,包括两个相对设置的面板(1)和用于连接两个面板(1)的连接组件(2),所述连接组件(2)包括两个上连接板(21)和两个下连接杆(22),两个所述上连接板(21)的两端分别与所述面板(1)的上半部连接,两个所述下连接杆(22)的两端分别与所述面板(1)的下半部连接,其特征在于,所述连接组件(2)上至少设置有两组载片架(3),且所述载片架(3)上设置有与连接组件(2)的长度方向平行的插槽(4),还包括有硅片(5),所述插槽(4)可供硅片(5)插入,且插入后的硅片(5)与所述面板(1)垂直。
2.根据权利要求1所述的一种石英舟,其特征在于,所述载片架(3)包括与面板平行设置的载片杆(31)和载片板(32),所述载片杆(31)的两端分别连接两个下连接杆(22),所述载片板(32)的两端分别连接两个上连接板(21),所述插槽(4)设置在所述载片板(32)上。
3.根据权利要求2所述的一种石英舟,其特征在于,所述载片板(32)的形状为三棱柱。
4.根据权利要求3所述的一种石英舟,其特征在于,相邻两个所述载片板(32)的距离与所述硅片(5)的边长相适应。
5.根据权利要求1所述的一种石英舟,其特征在于,所述载片架(3)为独立式舟架,挂设于所述连接组件(2)上,所述下连接杆(22)用于托举所述载片架(3)。
6.根据权利要求5所述的一种石英舟,其特征在于,所述载片架(3)为方形框盒,所述载片架(3)垂直于所述面板的两侧壁外部设置有凸块(33),所述凸块(33)用于挂钩于所述上连接板(21)上;所述载片架(3)平行于所述面板(1)的两侧壁(34)上设置有所述插槽(4)。
7.根据权利要求6所述的一种石英舟,其特征在于,所述载片架(3)的底部设置于用于支撑所述硅片(5)的支撑杆(35)。
8.根据权利要求1-7中任一项所述的一种石英舟,其特征在于,所述面板(1)上设置有用于通风的镂空孔(11)。
9.根据权利要求8所述的一种石英舟,其特征在于,所述面板(1)上设置有抓持部(12)。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造