[实用新型]一种石英舟

说明书

本实用新型提供了一种石英舟，涉及太阳能电池制造技术领域。包括两个相对设置的面板和用于连接两个面板的连接组件，连接组件包括两个上连接板和两个下连接杆，两个上连接板的两端分别与面板的上半部连接，两个下连接杆的两端分别与面板的下半部连接，连接组件上至少设置有两组载片架，且载片架上设置有与连接组件的长度方向平行的插槽，还包括有硅片，插槽可供硅片插入，且插入后的硅片与所述面板垂直。本实用新型提供的一种石英舟，可以有效避免硅片对工艺气体的阻挡，可以让工艺腔室内气体快速分布均匀，提升反应后方阻/氧化层均匀性。

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池制造技术领域，具体的是一种石英舟。

背景技术

太阳能电池是一种把太阳的光能直接转化为电能的新型电池。目前通常使用的是以硅为基底的硅光伏电池，包括单晶硅、多晶硅和非晶硅光伏电池。太阳能电池的制备过程中，硅片需要依次经过制绒、扩散、刻蚀、镀膜以及印刷等工序。扩散工艺是指硅片以石英舟为载体放入扩散炉中，在一定温度下向扩散炉内通入氮气和扩散源，以使硅片的表面扩散沉积PN结。镀膜工艺是指采用石英管或其他材料作为沉积腔室，使用电阻炉作为加热体，将一个可以放置多片硅片的石墨舟插进石英管中进行沉积反应，硅片在沉积腔室内发生沉积或钝化后完成镀膜。因此，在太阳能电池的制备过程中，在工艺炉(比如扩散炉或者沉积炉)中需要有承载硅片的舟体以将硅片送入工艺炉内。

如图1所示，现有技术中的石英舟通常包括位于工艺腔室轴线方向的两侧面板1以及将两侧面板1垂直相连的多个连接杆2，连接杆2四个为一组构成一个立方形的载片单元，硅片5平行于两侧面板1自上而下插入石英舟内。其存在弊端：1.阻挡工艺腔室内工艺气体，使气体均匀分布速率变慢，影响反应均匀性，造成片内和片间扩散方阻\氧化层均匀性变差；2.工艺炉管10（如图8所示）兼容性较差，硅片尺寸发生改变时，炉管管径必须相应变大，否则硅片将无法进入炉管。

实用新型内容

为了解决背景技术中的不足，本实用新型提供了一种石英舟，可以有效避免硅片对工艺气体的阻挡，可以让工艺腔室内气体快速分布均匀，提升反应后方阻/氧化层均匀性。

本实用新型解决上述技术问题采用的技术方案为：

一种石英舟，包括两个相对设置的面板和用于连接两个面板的连接组件，所述连接组件包括两个上连接板和两个下连接杆，两个所述上连接板的两端分别与所述面板的上半部连接，两个所述下连接杆的两端分别与所述面板的下半部连接，所述连接组件上至少设置有两组载片架，且所述载片架上设置有与连接组件的长度方向平行的插槽，还包括有硅片，所述插槽可供硅片插入，且插入后的硅片与所述面板垂直。

可选地，所述载片架包括与面板平行设置的载片杆和载片板，所述载片杆的两端分别连接两个下连接杆，以用于支撑所述硅片，所述载片板的两端分别连接两个上连接板，以用于分隔所述硅片，所述插槽设置在所述载片板上。

可选地，所述载片板的形状为三棱柱。

可选地，相邻两个所述载片板的距离与所述硅片的边长相适应。

可选地，所述载片架为独立式舟架，挂设于所述连接组件上，所述下连接杆用于托举所述载片架。

可选地，所述载片架为方形框盒，所述载片架垂直于所述面板的两侧壁外部设置有凸块，所述凸块用于挂钩于所述上连接板上；所述载片架平行于所述面板的两侧壁上设置有所述插槽。

可选地，所述载片架的底部设置于用于支撑所述硅片的支撑杆。

可选地，所述面板上设置有用于通风的镂空孔。

可选地，所述面板上设置有抓持部。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：