[实用新型]一种晶圆片物料盒及拾取晶圆片的机械手有效
| 申请号： | 202120606498.1 | 申请日： | 2021-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN214494848U | 公开（公告）日： | 2021-10-26 |
| 发明（设计）人： | 韩志刚 | 申请（专利权）人： | 无锡光诺自动化科技有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/90 | 分类号： | B65G47/90;B65G47/91 |
| 代理公司： | 无锡派尔特知识产权代理事务所(普通合伙) 32340 | 代理人： | 杨立秋 |
| 地址： | 214000 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及晶圆检测技术领域，具体涉及一种晶圆片物料盒及拾取晶圆片的机械手，包括纵向调节机构、横向调节机构和承载机构；所述纵向调节机构上传动连接有所述横向调节机构，所述横向调节机构上传动连接有所述承载机构；同时包括工作架，所述工作架的顶部安装有旋转组件，所述旋转组件的上端安装有旋转架，所述旋转架的前后两侧安装有平移组件，前后两侧所述平移组件上安装有机械手组件，通过控制所述旋转组件、所述平移组件实现对上下两个所述机械手组件的移动，从而可实现对晶圆片的上下料；解决了大多缺乏对承载晶圆片的料盒及其拾取晶圆片的机械手进行调节，使得工作效率低下、劳动力成本高，不利于批量生产的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆片 物料 拾取 机械手 | ||
【主权项】：
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