[实用新型]一种晶圆片物料盒及拾取晶圆片的机械手

权利要求书

1.一种晶圆片物料盒，其特征在于，包括纵向调节机构（1）、横向调节机构（2）和承载机构（3）；

所述纵向调节机构（1）上传动连接有所述横向调节机构（2），所述横向调节机构（2）上传动连接有所述承载机构（3）；

所述承载机构（3）包括承载板（31）、侧板（32）、安装板（33）、固定板（34）和料盒（35）；左右两侧所述侧板（32）的上下端对称设有所述承载板（31），每个所述承载板（31）的顶部可拆卸安装有所述安装板（33），通过所述安装板（33）和所述固定板（34）的配合，将所述料盒（35）可拆卸安装在所述安装板（33）上，且每个所述安装板（33）上安装的所述料盒（35）、呈左右对称分布；

通过控制所述纵向调节机构（1），使承载晶圆的所述料盒（35）进行向上或向下移动；通过控制所述横向调节机构（2），使承载晶圆的所述料盒（35）进行向左或向右移动。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆片物料盒，其特征在于，所述纵向调节机构（1）包括安装台一（11）、安装台二（12）、连接柱（13）、纵向电机（14）、传动组件、纵向丝杠（16）、纵向螺母（17）、纵向移动板（18）和升降柱（19）；

所述安装台一（11）的顶部四角和所述安装台二（12）的底部四角通过所述连接柱（13）固定相连，所述安装台一（11）上安装有所述纵向电机（14），所述纵向电机（14）的输出轴端通过所述传动组件传动连接有所述纵向丝杠（16），所述纵向丝杠（16）的上下端分别转动连接在所述安装台一（11）和所述安装台二（12）上，所述纵向丝杠（16）的螺纹处螺纹连接有所述纵向螺母（17），所述纵向移动板（18）上固定插接有所述纵向螺母（17），所述纵向移动板（18）的顶部四角对称设有所述升降柱（19），所述升降柱（19）的上端穿过所述安装台二（12）上开设的导向孔、并延伸至上端与所述纵向调节机构（1）相连。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆片物料盒，其特征在于，所述横向调节机构（2）包括安装台三（21）、U型板（22）、滑轨一（23）、滑轨二（24）、滑块（25）、横向电机（26）、横向丝杠（27）、横向螺母（28）和横向移动板（29）；

所述安装台三（21）的顶部与倒置的所述U型板（22）相连，所述U型板（22）的左右两侧壁上转动连接有所述横向丝杠（27），所述横向丝杠（27）的右侧端与所述横向电机（26）的输出轴端相连，同时所述横向电机（26）安装于所述U型板（22）的右侧壁上，所述横向丝杠（27）的螺纹处螺纹连接有所述横向螺母（28），所述横向螺母（28）的前后侧壁分别与所述滑轨一（23）滑动相连，所述滑轨一（23）对称设置于所述U型板（22）的前后两侧，同时所述横向螺母（28）的顶部设有所述横向移动板（29）；

所述滑轨二（24）设置于所述安装台三（21）上，且所述滑轨二（24）上滑动连接有两个所述滑块（25）；

所述滑块（25）、所述横向移动板（29）对称设置于下侧所述承载板（31）的底部前后两侧。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆片物料盒，其特征在于，所述料盒（35）包括料侧板（351）、底板（352）和顶板（353）；

其中左右两侧所述料侧板（351）的顶部设有所述顶板（353）、底部设有所述底板（352），且左右两侧所述料侧板（351）的内侧壁上线性开设有若干放置晶圆的齿形槽（354）；

所述底板（352）呈工字型结构设置，所述顶板（353）的前侧开设有半环形槽（355）。