[实用新型]一种用于提拉法晶体生长的加热结构及晶体生长装置

摘要

本实用新型公开了一种用于提拉法晶体生长的加热结构及晶体生长装置，所述加热结构包括：保温罩、高温熔融装置以及加热装置。采用了两段加热的方式，高温熔融装置的加热是用于形成制备晶体所需的熔体，在位于高温熔融装置上的保温罩内还设置了具有若干个加热单元的加热装置，并采用温度监测装置和温度控制装置实时监测并控制从晶体生长区域至籽晶杆入口的温度呈一定的温度梯度逐渐递减，降低了晶体生长后向上提拉的过程中晶体周围的温度的变化速率，并使通孔中的热场始终保持稳定，从而提高晶体的生长质量。