[实用新型]一种用于测试半导体器件的测试针卡以及测试设备有效
| 申请号： | 202120570687.8 | 申请日： | 2021-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN217443483U | 公开（公告）日： | 2022-09-16 |
| 发明（设计）人： | 孔令枫;王志强;杨素慧 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R1/067;G01R1/36 |
| 代理公司： | 北京恒博知识产权代理有限公司 11528 | 代理人： | 范胜祥 |
| 地址： | 430205 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种用于测试半导体器件的测试针卡以及测试设备，涉及电子器件测试技术领域。测试针卡包括：探头以及保护电路，在所述探头中的电流位于第一预设范围内时，所述保护电路的阻值位于第一电阻范围内，在所述探头中的电流位于第二预设范围内时，所述保护电路的阻值位于第二电阻范围内。保护电路的阻值可以在探头中的电流位于第一预设范围内时位于第一电阻范围内，由于第一电阻范围中任一值均较小可以保证被测器件测试结果误差较小，且保护电路的阻值还可以在探头中的电流位于第二预设范围内时位于第二电阻范围内，由于第二电阻范围中任一值均较大可以防止被测器件击穿瞬间电流过大而造成针卡烧针，有利于后续失效分析。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 测试 半导体器件 以及 设备 | ||
【主权项】：
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