[实用新型]一种用于测试半导体器件的测试针卡以及测试设备

权利要求书

1.一种用于测试半导体器件的测试针卡，其特征在于，所述测试针卡包括：

探头，所述探头的第一端用于与所述半导体器件接触并电连接；

保护电路，所述保护电路与所述探头的第二端连接，所述保护电路用于根据所述探头中的电流调整阻值；

其中，在所述探头中的电流位于第一预设范围内时，所述保护电路的阻值位于第一电阻范围内，在所述探头中的电流位于第二预设范围内时，所述保护电路的阻值位于第二电阻范围内，所述第二电阻范围内的任一值大于所述第一电阻范围内的任一值，且所述第二预设范围内的任一值大于所述第一预设范围内的任一值。

2.根据权利要求1所述的测试针卡，其特征在于，所述保护电路至少包括自恢复电阻，所述自恢复电阻的电阻值与所述探头中的电流成正相关。

3.根据权利要求1所述的测试针卡，其特征在于，所述保护电路至少包括电阻电路以及放大电路；

所述电阻电路的第一端与所述探头的第二端以及所述放大电路的第一端连接，所述电阻电路的第二端与所述放大电路的第二端连接，所述电阻电路至少具有一个电阻值。

4.根据权利要求3所述的测试针卡，其特征在于，所述电阻电路至少包括：第一电阻、第二电阻、第四电阻以及模拟开关；

所述第一电阻的第一端与所述探头的第二端以及所述放大电路的第一端连接连接，所述第一电阻的第二端与所述第二电阻的第一端、所述模拟开关的第一端连接，所述第二电阻的第二端与所述模拟开关的第二端连接，所述模拟开关的第三端、所述模拟开关的第四端与所述第四电阻的第一端连接，所述第四电阻的第二端与所述放大电路的第二端连接。

5.根据权利要求4所述的测试针卡，其特征在于，所述模拟开关在所述探头中的电流位于所述第一预设范围内时，将所述模拟开关的第一端与所述模拟开关的第三端导通，以使得所述电阻电路具有第一电阻值，所述第一电阻值为所述第一电阻与所述第四电阻并联的电阻值。

6.根据权利要求5所述的测试针卡，其特征在于，所述模拟开关在所述探头中的电流位于所述第二预设范围内时，将所述模拟开关的第二端与所述模拟开关的第四端导通，以使得所述电阻电路具有第二电阻值，所述第二电阻值为所述第一电阻和所述第二电阻串联之后与所述第四电阻并联的电阻值；

其中所述第二电阻值大于所述第一电阻值。

7.根据权利要求3所述的测试针卡，其特征在于，所述放大电路包括第一放大模块以及第二放大模块；

所述第一放大模块的第一端与所述电阻电路的第一端以及所述探头的第二端连接，所述第一放大模块的第二端与所述第二放大模块的第一端连接，所述第二放大模块的第二端与所述电阻电路的第二端连接。

8.根据权利要求7所述的测试针卡，其特征在于，所述第一放大模块至少包括：第三电阻、第五电阻以及第一运算放大器；

所述第三电阻的第一端与所述电阻电路的第一端以及所述探头的第二端连接，所述第一运算放大器的第一端接地，所述第一运算放大器的第二端分别与所述第三电阻的第二端、所述第五电阻的第一端连接，所述第五电阻的第二端与所述第一运算放大器的第三端、所述第二放大模块的第一端连接。

9.根据权利要求7所述的测试针卡，其特征在于，所述第二放大模块至少包括：数模转换器、第二运算放大器、第三运算放大器、第六电阻以及第七电阻；

所述数模转换器的第一端与所述第一放大模块的第二端连接，所述第二运算放大器的第一端与所述数模转换器的第二端连接，所述第二运算放大器的第二端接地，所述第二运算放大器的第三端与所述数模转换器的第三端、所述第六电阻的第一端连接，所述第六电阻的第二端与所述第三运算放大器的第二端、所述第七电阻的第一端连接，所述第三运算放大器的第一端接地，所述第三运算放大器的第三端与所述第七电阻的第二端、所述电阻电路的第二端连接。

10.一种测试设备，其特征在于，所述测试设备包括权利要求1至权利要求9任一项所述的测试针卡。