[实用新型]一种用于测试半导体器件的测试针卡以及测试设备

说明书

本申请公开了一种用于测试半导体器件的测试针卡以及测试设备，涉及电子器件测试技术领域。测试针卡包括：探头以及保护电路，在所述探头中的电流位于第一预设范围内时，所述保护电路的阻值位于第一电阻范围内，在所述探头中的电流位于第二预设范围内时，所述保护电路的阻值位于第二电阻范围内。保护电路的阻值可以在探头中的电流位于第一预设范围内时位于第一电阻范围内，由于第一电阻范围中任一值均较小可以保证被测器件测试结果误差较小，且保护电路的阻值还可以在探头中的电流位于第二预设范围内时位于第二电阻范围内，由于第二电阻范围中任一值均较大可以防止被测器件击穿瞬间电流过大而造成针卡烧针，有利于后续失效分析。

技术领域

本申请涉及电子器件测试技术领域，尤其涉及一种用于测试半导体器件的测试针卡以及测试设备。

背景技术

随着科学技术的发展，我们的生活离不开各种电子设备，而电子设备中一般需要芯片或者存储设备等半导体器件的支持，因此关于半导体器件的测试设备也成为本领域技术人员研究的重点之一。

在相关技术中，对半导体器件进行电性测试时，可以利用测试针卡接入信号进行测试，但是这种方法常常会出现测试结果误差大或者针卡烧针的情况。

实用新型内容

本申请提供一种用于测试半导体器件的测试针卡以及测试设备，可以解决相关技术中对半导体器件进行测试时，测试结果误差大或者针卡烧针的技术问题。

第一方面，本申请实施例提供一种用于测试半导体器件的测试针卡，该测试针卡包括：

探头，所述探头的第一端用于与所述半导体器件接触并电连接；

保护电路，所述保护电路与所述探头的第二端连接，所述保护电路用于根据所述探头中的电流调整阻值；

其中，在所述探头中的电流位于第一预设范围内时，所述保护电路的阻值位于第一电阻范围内，在所述探头中的电流位于第二预设范围内时，所述保护电路的阻值位于第二电阻范围内，所述第二电阻范围内的任一值大于所述第一电阻范围内的任一值，且所述第二预设范围内的任一值大于所述第一预设范围内的任一值。

可选地，所述保护电路至少包括自恢复电阻，所述自恢复电阻的电阻值与所述探头中的电流成正相关。

可选地，所述保护电路至少包括电阻电路以及放大电路；

所述电阻电路的第一端与所述探头的第二端以及所述放大电路的第一端连接，所述电阻电路的第二端与所述放大电路的第二端连接，所述电阻电路至少具有一个电阻值。

可选地，所述电阻电路至少包括：第一电阻、第二电阻、第四电阻以及模拟开关；

所述第一电阻的第一端与所述探头的第二端以及所述放大电路的第一端连接连接，所述第一电阻的第二端与所述第二电阻的第一端、所述模拟开关的第一端连接，所述第二电阻的第二端与所述模拟开关的第二端连接，所述模拟开关的第三端、所述模拟开关的第四端与所述第四电阻的第一端连接，所述第四电阻的第二端与所述放大电路的第二端连接。

可选地，所述模拟开关在所述探头中的电流位于所述第一预设范围内时，将所述模拟开关的第一端与所述模拟开关的第三端导通，以使得所述电阻电路具有第一电阻值，所述第一电阻值为所述第一电阻与所述第四电阻并联的电阻值。

可选地，所述模拟开关在所述探头中的电流位于所述第二预设范围内时，将所述模拟开关的第二端与所述模拟开关的第四端导通，以使得所述电阻电路具有第二电阻值，所述第二电阻值为所述第一电阻和所述第二电阻串联之后与所述第四电阻并联的电阻值；

其中所述第二电阻值大于所述第一电阻值。

可选地，所述放大电路包括第一放大模块以及第二放大模块；