[实用新型]清洗用治具有效
| 申请号： | 202120566987.9 | 申请日： | 2021-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN215466779U | 公开（公告）日： | 2022-01-11 |
| 发明（设计）人： | 新村聪;高柳康治;柴崎健太;稻田博一 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | B08B9/08 | 分类号： | B08B9/08;B08B9/093;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种清洗用治具，当对旋转涂布装置的容器内进行清洗时，与以往相比在高度方向上清洗更广的范围。该清洗用治具呈圆盘状，用于在向配置于容器内的旋转保持装置所保持的基板上供给处理液并通过所述基板的旋转来在所述基板上形成所述处理液的膜的旋转涂布装置中清洗所述容器内，在所述清洗用治具的周缘部整周地形成有周缘顶部和周缘底部，在所述周缘顶部与所述周缘底部之间整周地形成有喷出口，在所述周缘底部沿周向隔开间隔地形成有多个通往所述喷出口的孔，所述周缘顶部的下表面朝向外周上方倾斜。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 用治具 | ||
【主权项】：
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