[实用新型]清洗用治具

权利要求书

1.一种清洗用治具，该清洗用治具呈圆盘状，用于在向配置于容器内的旋转保持装置所保持的基板上供给处理液并通过所述基板的旋转来在所述基板上形成所述处理液的膜的旋转涂布装置中，在与基板同样地保持在所述旋转保持装置的状态下清洗所述容器内，该清洗用治具的特征在于，

在所述清洗用治具的周缘部整周地形成有周缘顶部和周缘底部，

在所述周缘顶部与所述周缘底部之间整周地形成有喷出口，

在所述周缘底部沿周向隔开间隔地形成有多个通往所述喷出口的孔，

所述周缘顶部的下表面朝向外周上方倾斜。

2.根据权利要求1所述的清洗用治具，其特征在于，

通过所述周缘顶部和所述周缘底部形成所述喷出口。

3.根据权利要求1所述的清洗用治具，其特征在于，

在所述孔的入口部与所述喷出口之间形成的引导通路具有随着朝向所述喷出口而流路截面积变大的形状。

4.根据权利要求2所述的清洗用治具，其特征在于，

在所述孔的入口部与所述喷出口之间形成的引导通路具有随着朝向所述喷出口而流路截面积变大的形状。

5.根据权利要求1～4中的任一项所述的清洗用治具，其特征在于，

所述孔在俯视时是圆弧状。

6.根据权利要求1～4中的任一项所述的清洗用治具，其特征在于，

与所述周缘顶部相比，所述周缘底部向外侧突出。

7.根据权利要求1～4中的任一项所述的清洗用治具，其特征在于，

多个所述孔相互独立地连通到所述周缘底部，在俯视时多个所述孔与所述周缘底部在所述周缘底部的靠该清洗用治具的中央侧的位置处连通。