[实用新型]一种自动靶材清洗盖板

摘要

为了解决如何对淀积的继续控制成了当下需要解决的问题，本实用新型提出一种自动靶材清洗盖板，正常状态下，坩埚盖板与坩埚底座上表面的夹角为180°，在控制器的控制下，会启动驱动电机，使得转动驱轴带动坩埚盖板开始转动，直至转至坩埚盖板与坩埚底座上表面的夹角为0°，且坩埚盖板的一端卡在压紧板的下方，此时，进行源材料扩散操作，操作完成后，操作者通过按压控制系统的复位按钮，在控制器控制下，液压驱杆会带动压紧板向固定板侧靠近，使得坩埚盖板卡在压紧板下方的一端暴露出来，使得坩埚盖板转回至正常状态后，即完成了整个操作流程，防止源材料扩散至蒸镀机内部的其他部件上造成源材料的浪费，结构简单，自动化程度高。