[实用新型]一种自动靶材清洗盖板

权利要求书

1.一种自动靶材清洗盖板，包括坩埚底座(1)、坩埚盖板(2)、翻转组件(3)，其特征在于：坩埚底座(1)的上方通过翻转组件(3)设置有坩埚盖板(2)，所述翻转组件(3)包括连接件(31)、转动驱轴(32)和两个用于稳定所述转动驱轴(32)的弧形限位板(33)，坩埚底座(1)上表面左侧沿坩埚底座(1)宽度方向设置有弧形凹槽，所述转动驱轴(32)设置在弧形凹槽内，且两个所述弧形限位板(33)分别架设在弧形凹槽的前后两端，坩埚盖板(2)一端通过连接件(31)与转动驱轴(32)连接。

2.如权利要求1所述的自动靶材清洗盖板，其特征在于：转动驱轴(32)的输入端连接有驱动电机。

3.如权利要求1所述的自动靶材清洗盖板，其特征在于：驱动电机与真空镀膜机的控制系统连接，通过控制系统控制转动驱轴(32)的运动。

4.如权利要求1所述的自动靶材清洗盖板，其特征在于：还包括用于压紧固定所述坩埚盖板(2)的压紧机构，所述压紧机构包括水平设置的液压驱杆(41)、“7”形的且可沿坩埚底座(1)上表面左右滑动的压紧板(42)和竖直设置在坩埚底座(1)上表面右侧的固定板(43)，所述液压驱杆(41)一端与固定板(43)连接，另一端与所述压紧板(42)的右侧面连接。

5.如权利要求1所述的自动靶材清洗盖板，其特征在于：所述坩埚底座(1)敞口处边缘的均设置有缓冲胶垫。

6.如权利要求1所述的自动靶材清洗盖板，其特征在于：坩埚盖板(2)侧边设有密封圈槽，密封圈槽内设有密封圈。

7.如权利要求1所述的自动靶材清洗盖板，其特征在于：所述坩埚盖板(2)可发生0°至180°的翻转运动。