[实用新型]用于质谱仪抽真空系统的阀体连接结构及阀体组件

摘要

本实用新型公开了一种用于质谱仪抽真空系统的阀体连接结构，包括阀体歧块和气路通道，所述气路通道包括腔室连接通道、进气阀连接通道和预抽阀连接通道。本实用新型还公开了一种用于质谱仪抽真空系统的阀体组件，包括集成在阀体连接结构上的进气阀和预抽阀。本实用新型将预抽阀、真空规和进气阀集成安装在阀体歧块上，减少气路结构，使得质谱仪更加整洁，有效降低了因牵拉气路或气路摩擦等引起的故障。同时本实用新型的预抽阀，能够实现过渡腔室和真空腔室的连通，在抽真空时分子泵可通过真空腔室对过渡腔室间接抽取真空，实现了过渡腔室的快速预抽，缩短了样品了进样等待时间，提高了检测效率。