[实用新型]用于质谱仪抽真空系统的阀体连接结构及阀体组件

说明书

本实用新型公开了一种用于质谱仪抽真空系统的阀体连接结构，包括阀体歧块和气路通道，所述气路通道包括腔室连接通道、进气阀连接通道和预抽阀连接通道。本实用新型还公开了一种用于质谱仪抽真空系统的阀体组件，包括集成在阀体连接结构上的进气阀和预抽阀。本实用新型将预抽阀、真空规和进气阀集成安装在阀体歧块上，减少气路结构，使得质谱仪更加整洁，有效降低了因牵拉气路或气路摩擦等引起的故障。同时本实用新型的预抽阀，能够实现过渡腔室和真空腔室的连通，在抽真空时分子泵可通过真空腔室对过渡腔室间接抽取真空，实现了过渡腔室的快速预抽，缩短了样品了进样等待时间，提高了检测效率。

技术领域

本实用新型涉及质谱仪的抽真空系统，尤其是涉及一种用于质谱仪抽真空系统的阀体连接结构，还涉及一种包含该阀体连接结构的阀体组件。

背景技术

基质辅助激光解析电离飞行时间质谱仪（即MALDI-TOF-MS，以下简称质谱仪）需要在真空状态下进行样品分析，即将样品置于质谱仪的真空腔室内进样样品解离。现有质谱仪的抽真空系统大多利用分子泵对真空腔室（由质谱仪的箱体和盖板围成）抽取真空，确保真空腔室的真空度；同时为保护分子泵，在分子泵的前端还配备有前级机械泵。

在实际检测过程中，质谱仪的真空腔室较大，真空腔室的抽真空时间较长，若通过对真空腔室反复补充空气和抽真空来实现样品的取放，严重降低了质谱仪的检测效率。为此，现有质谱仪大多具有过渡腔室（即真空腔室的盖板上开设有取放口，过渡腔室由抵在取放口底部的样品靶槽和盖设取放口处的密封盖围成），通过对过渡腔室放真空和预抽即可实现样品的取放作业，进而提高检测效率。

现有过渡腔室的预抽方式是利用前级机械泵，当过渡腔室的真空度达到预设真空度时，样品靶槽下行预设高度，过渡腔室和真空腔室连通形成一个整体，从而实现进样。然而，由于机械泵的预抽时间相对较长，导致样品的等待时间较长，无法满足高通量样本的快速检测需求；另外，机械泵和过渡腔室通过外设管路连接，控制阀安装在外设管路上，外设管路不仅占用空间，而且其稳定性较差、容易磨损，影响过渡腔室的正常预抽。

发明内容

本实用新型目的在于提供一种用于质谱仪抽真空系统的阀体连接结构，还提供了一种包括该阀体连接结构的阀体组件，实现了集成安装，减少外设连接管路，提高了抽真空系统的运行稳定性。

为实现上述目的，本实用新型采取下述技术方案：

本实用新型所述的用于质谱仪抽真空系统的阀体连接结构，包括阀体歧块和开设在所述阀体歧块上的气路通道，所述气路通道包括

腔室连接通道，具有第一连接孔、第二连接孔，以及第一连接通道、第二连接通道，所述第一连接通道一端与质谱仪的过渡腔室连通而另一端与所述第一连接孔连通，所述第二连接通道一端与所述第二连接孔连通而另一端与质谱仪的真空腔室连通；

进气阀连接通道，具有第一通道和第二通道，所述第一通道的一端与第一连接孔连通而其另一端与抽真空系统的进气阀的第一接口连通，所述第二通道的一端与进气阀的第二接口连通而其另一端与外界大气连通；

预抽阀连接通道，具有第三通道和第四通道，所述第三通道一端与所述第一连接孔连通而另一端与抽真空系统的预抽阀的第一接口连通，所述第四通道的一端与所述预抽阀的第二接口连通而另一端与第二连接孔连通。

在本实用新型的优选实施方式中，所述气路通道还包括开设在阀体歧块上的真空检测通道，所述真空检测通道的一端与所述第一连接孔连通而其一端具有一沉孔，抽真空系统的真空检测元器件的检测部插装在所述沉孔内。

在本实用新型的优选实施方式中，所述阀体歧块的一侧面的上部或下部向外凸出形成安装台面，所述安装台面通过连接件密封贴设在质谱仪的外壁上。