[实用新型]用于质谱仪抽真空系统的阀体连接结构及阀体组件

权利要求书

1.一种用于质谱仪抽真空系统的阀体连接结构，其特征在于：包括阀体歧块和开设在所述阀体歧块上的气路通道，所述气路通道包括

腔室连接通道，具有第一连接孔、第二连接孔，以及第一连接通道、第二连接通道，所述第一连接通道一端与质谱仪的过渡腔室连通而另一端与所述第一连接孔连通，所述第二连接通道一端与所述第二连接孔连通而另一端与质谱仪的真空腔室连通；

进气阀连接通道，具有第一通道和第二通道，所述第一通道的一端与第一连接孔连通而其另一端与抽真空系统的进气阀的第一接口连通，所述第二通道的一端与进气阀的第二接口连通而其另一端与外界大气连通；

预抽阀连接通道，具有第三通道和第四通道，所述第三通道一端与所述第一连接孔连通而另一端与抽真空系统的预抽阀的第一接口连通，所述第四通道的一端与所述预抽阀的第二接口连通而另一端与第二连接孔连通。

2.根据权利要求1所述的用于质谱仪抽真空系统的阀体连接结构，其特征在于：所述气路通道还包括开设在阀体歧块上的真空检测通道，所述真空检测通道的一端与所述第一连接孔连通而其一端具有一沉孔，抽真空系统的真空检测元器件的检测部插装在所述沉孔内。

3.根据权利要求1所述的用于质谱仪抽真空系统的阀体连接结构，其特征在于：所述阀体歧块的一侧面的上部或下部向外凸出形成安装台面，所述安装台面通过连接件密封贴设在质谱仪的外壁上。

4.一种用于质谱仪抽真空系统的阀体组件，其特征在于：所述阀体组件包括进气阀、预抽阀和权利要求1所述的阀体连接结构，所述进气阀安装在阀体连接结构的阀体歧块的一侧面，所述预抽阀安装在所述阀体歧块的另一侧面，且所述进气阀的第一接口与所述第一通道连通而其第二接口与所述第二通道连通，预抽阀的第一接口与所述第三通道连通而其第二接口与所述第四通道连通。

5.一种用于质谱仪抽真空系统的阀体组件，其特征在于：所述阀体组件包括进气阀、预抽阀、真空检测元器件和权利要求2所述的阀体连接结构，所述进气阀安装在所述阀体歧块的一侧面，所述进气阀的第一接口与所述第一通道连通而第二接口与所述第二通道连通；所述预抽阀安装在与所述进气阀相对的阀体歧块的另一侧面上，预抽阀的第一接口与所述第三通道连通而其第二接口与所述第四通道连通；所述真空检测元器件安装在阀体歧块上且与所述真空检测通道连通。

6.根据权利要求4或5所述的用于质谱仪抽真空系统的阀体组件，其特征在于：所述进气阀和预抽阀均为两位两通电磁阀。

7.根据权利要求4或5所述的用于质谱仪抽真空系统的阀体组件，其特征在于：所述第二通道的进气口处设置有具有过滤件的消音器。

8.根据权利要求5所述的用于质谱仪抽真空系统的阀体组件，其特征在于：所述真空检测元器件为设置在所述阀体歧块底面上的真空规。