[实用新型]一种光刻胶匀胶显影机用冷水机散热装置有效
| 申请号： | 202120476142.0 | 申请日： | 2021-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN214311294U | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 吴想;戴文海 | 申请（专利权）人： | 江西维易尔半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/38 | 分类号： | G03F7/38 |
| 代理公司： | 南昌合达信知识产权代理事务所(普通合伙) 36142 | 代理人： | 陈龙 |
| 地址： | 334000 江西省上饶*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及显影机技术领域，尤其涉及一种光刻胶匀胶显影机用冷水机散热装置，其包括第一散热块和第二散热块，第一散热块和第二散热块之间固定设有第三散热块，第一散热块、第二散热块和第三散热块的内部分别设有用于散热通水的过水槽，第一散热块的一侧设有与其内过水槽连通的第一进水接口，第二散热块的一侧设有与其内过水槽连通的第一出水接口，第一散热块内的过水槽和第二散热块内的过水槽之间还设有用于连通的连接管，第三散热块的两侧分别设有与其内过水槽连通的第二进水接口和第二出水接口，其不仅结构简单，所需成本低，且降温效果好，恒温性优，操作性强，可以满足市场需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 胶匀胶 显影 冷水机 散热 装置 | ||
【主权项】：
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