[实用新型]一种光刻胶匀胶显影机用冷水机散热装置有效
| 申请号： | 202120476142.0 | 申请日： | 2021-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN214311294U | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 吴想;戴文海 | 申请（专利权）人： | 江西维易尔半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/38 | 分类号： | G03F7/38 |
| 代理公司： | 南昌合达信知识产权代理事务所(普通合伙) 36142 | 代理人： | 陈龙 |
| 地址： | 334000 江西省上饶*** | 国省代码： | 江西;36 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 胶匀胶 显影 冷水机 散热 装置 | ||
1.一种光刻胶匀胶显影机用冷水机散热装置，包括第一散热块(1)和第二散热块(2)，其特征在于：所述第一散热块(1)和第二散热块(2)之间固定设有第三散热块(3)，所述第一散热块(1)、第二散热块(2)和所述第三散热块(3)的内部分别设有用于散热通水的过水槽(13)，所述第一散热块(1)的一侧设有与其内过水槽(13)连通的第一进水接口(5)，所述第二散热块(2)的一侧设有与其内过水槽(13)连通的第一出水接口(6)，所述第一散热块(1)内的过水槽(13)和第二散热块(2)内的过水槽(13)之间还设有用于连通的连接管(4)，所述第三散热块(3)的两侧分别设有与其内过水槽(13)连通的第二进水接口(7)和第二出水接口(8)。
2.根据权利要求1所述的一种光刻胶匀胶显影机用冷水机散热装置，其特征在于：所述第一散热块(1)和第二散热块(2)与所述第三散热块(3)之间分别固定设有制冷片(9)。
3.根据权利要求1所述的一种光刻胶匀胶显影机用冷水机散热装置，其特征在于：所述第三散热块(3)装有所述第二出水接口(8)的一侧上还安装有温度传感器(11)。
4.根据权利要求1所述的一种光刻胶匀胶显影机用冷水机散热装置，其特征在于：所述第一散热块(1)上还设有用于安装所述连接管(4)的第一连接孔(12)，所述第二散热块(2)上还设有用于安装所述连接管(4)的第二连接孔(14)。
5.根据权利要求4所述的一种光刻胶匀胶显影机用冷水机散热装置，其特征在于：所述连接管(4)分别与所述第一连接孔(12)和所述第二连接孔(14)连接的两端分别设有密封圈(10)。
6.根据权利要求1所述的一种光刻胶匀胶显影机用冷水机散热装置，其特征在于：所述第一散热块(1)、第二散热块(2)和所述第三散热块(3)上分别设有多个便于其固定连接的定位安装孔(15)。
7.根据权利要求1所述的一种光刻胶匀胶显影机用冷水机散热装置，其特征在于：所述第一散热块(1)、第二散热块(2)和所述第三散热块(3)内的所述过水槽(13)分别呈“S”形分布。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江西维易尔半导体设备有限公司，未经江西维易尔半导体设备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202120476142.0/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：镜片外观检查滑台
- 下一篇：一种用于城乡规划的区域面积拍摄装置
