[实用新型]一种硅片真空传送机械手臂

摘要

本实用新型涉及半导体材料加工技术领域，尤其涉及一种硅片真空传送机械手臂，其包括手臂本体，多个均匀固定设于手臂本体上用于硅片限位的限位块，手臂本体上设有第一吸气口，手臂本体上还设有至少两个用于吸附硅片的真空吸附机构，手臂本体的底部设有第一凹槽，第一凹槽内设有第二凹槽，第一凹槽上固定设有贴片，贴片和第二凹槽构成了用于吸气的吸气通道，吸气通道的一端对应于第一吸气口，其另一端分别设有第二吸气口和第三吸气口，真空吸附机构分别与设于手臂本体的第二吸气口和第三吸气口相对应，其不仅结构简单，所需成本低，且能保证硅片安全，提高工作效率，可以满足市场需求。