[实用新型]一种硅片真空传送机械手臂有效
| 申请号： | 202120462477.7 | 申请日： | 2021-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN214378375U | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | 吴想;戴文海 | 申请（专利权）人： | 江西维易尔半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/683 |
| 代理公司： | 南昌合达信知识产权代理事务所(普通合伙) 36142 | 代理人： | 陈龙 |
| 地址： | 334000 江西省上饶*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 真空 传送 机械 手臂 | ||
1.一种硅片真空传送机械手臂，包括手臂本体(1)，多个均匀固定设于所述手臂本体(1)上用于硅片限位的限位块(2)，所述手臂本体(1)上设有第一吸气口(5)，其特征在于：所述手臂本体(1)上还设有至少两个用于吸附硅片的真空吸附机构(4)，所述手臂本体(1)的底部设有第一凹槽(9)，第一凹槽(9)内设有第二凹槽(10)，第一凹槽(9)上固定设有贴片(7)，贴片(7)和第二凹槽(10)构成了用于吸气的吸气通道，吸气通道的一端对应于所述第一吸气口(5)，其另一端分别设有第二吸气口(11)和第三吸气口(12)，所述真空吸附机构(4)分别与设于所述手臂本体(1)的第二吸气口(11)和第三吸气口(12)相对应。
2.根据权利要求1所述的一种硅片真空传送机械手臂，其特征在于：所述真空吸附机构(4)分别包括定位板(401)和真空吸嘴(402)，真空吸嘴(402)经定位板(401)固定设于所述手臂本体(1)上。
3.根据权利要求2所述的一种硅片真空传送机械手臂，其特征在于：所述手臂本体(1)上还设有安装槽(8)，所述真空吸嘴(402)经所述定位板(401)固定设于安装槽(8)内。
4.根据权利要求3所述的一种硅片真空传送机械手臂，其特征在于：所述手臂本体(1)上还设有呈均匀分布的至少三个支撑凸块(3)。
5.根据权利要求4所述的一种硅片真空传送机械手臂，其特征在于：所述限位块(2)、所述定位板(401)、所述真空吸嘴(402)和所述支撑凸块(3)分别为peek式限位块、peek式定位板，peek式真空吸嘴和peek式支撑凸块。
6.根据权利要求1所述的一种硅片真空传送机械手臂，其特征在于：所述手臂本体(1)的一端还设有便于其安装的限位凹槽(6)。
7.根据权利要求1所述的一种硅片真空传送机械手臂，其特征在于：所述贴片(7)为不锈钢贴片。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
