[实用新型]一种二次离子质谱的样品装载盒有效
| 申请号： | 202120419724.5 | 申请日： | 2021-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN214254343U | 公开（公告）日： | 2021-09-21 |
| 发明（设计）人： | 余学会;刘波;张雷 | 申请（专利权）人： | 合肥晶合集成电路股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J49/04 | 分类号： | H01J49/04;G01N27/62 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 夏苗苗 |
| 地址： | 230012 安徽省合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种二次离子质谱的样品装载盒。所述二次离子质谱的样品装载盒包括：基座，所述基座内开设有至少一个卡槽式装载仓；样品支撑架，活动卡合于所述卡槽式装载仓内，用于装载并支撑二次离子质谱测试用样品，所述样品支撑架上开设有孔，以裸露出样品的待测试区域；第一压片，安装于所述卡槽式装载仓内，并安置于所述样品的上方；紧固组件，所述紧固组件包括螺栓和开设于所述基座上的螺纹孔，所述螺栓穿过所述螺纹孔将所述第一压片抵接在所述样品表面，以固定所述样品。根据本实用新型提供的二次离子质谱的样品装载盒载样品简单方便、而且减少因弹簧不同的形变程度，造成样品装载松紧不同对样品分析带来的误差，提高作业精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 二次 离子 样品 装载 | ||
【主权项】：
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