[实用新型]一种二次离子质谱的样品装载盒

说明书

本实用新型公开了一种二次离子质谱的样品装载盒。所述二次离子质谱的样品装载盒包括：基座，所述基座内开设有至少一个卡槽式装载仓；样品支撑架，活动卡合于所述卡槽式装载仓内，用于装载并支撑二次离子质谱测试用样品，所述样品支撑架上开设有孔，以裸露出样品的待测试区域；第一压片，安装于所述卡槽式装载仓内，并安置于所述样品的上方；紧固组件，所述紧固组件包括螺栓和开设于所述基座上的螺纹孔，所述螺栓穿过所述螺纹孔将所述第一压片抵接在所述样品表面，以固定所述样品。根据本实用新型提供的二次离子质谱的样品装载盒载样品简单方便、而且减少因弹簧不同的形变程度，造成样品装载松紧不同对样品分析带来的误差，提高作业精度。

技术领域

本实用新型涉及晶圆的测试分析技术，特别涉及一种二次离子质谱的样品装载盒。

背景技术

二次离子质谱(Secondary Ion Mass Spectrometry)是通过一束聚焦的一次离子溅射到样品表面，收集、分析所产生的二次离子，以得到固体材料表面化学成分的一项技术，常应用于半导体材料的深度剖析。

在二次离子质谱的测试过程中，通常将晶圆(wafer)进行裂片处理，再将实验片放置于样品装载盒中固定后传送至分析腔室中。然而目前常用的装载盒是在样品盒基座上焊接前挡片，前挡片中开有分布均匀且大小相等的正方形方孔，可以将样品分析面裸露出来，并在每个样品的背面中心位置放置弹簧，弹簧上方放置背压块，背压块通过侧边内六角螺丝固定。此装载盒在固定弹簧和背压块时，常因弹簧分布不均或个别弹簧受力变形，背压块无法固定，样品装载耗费时间较多。弹簧受力变形，样品装载松紧不同也会对样品分析带来一定误差。此外，这种装载盒通常设计为一个盒内可以装载4或10个样品，此装载盒虽能装载多个样品，但每次装载必须装满才能固定，使用十分不方便。

实用新型内容

鉴于上述现有技术的缺陷，本实用新型提出一种二次离子质谱的样品装载盒，所述样品装载盒装载样品简单方便、而且减少因弹簧不同的形变程度，造成样品装载松紧不同对样品分析带来的误差，提高作业精度。

为实现上述目的及其他目的，本实用新型提供一种二次离子质谱的样品装载盒，其包括：基座，所述基座内开设有至少一个卡槽式装载仓；样品支撑架，活动卡合于所述卡槽式装载仓内，用于装载并支撑二次离子质谱测试用样品，所述样品支撑架上开设有孔，以裸露出所述样品的待测试区域；第一压片，安装于所述卡槽式装载仓内，并安置于所述样品的上方；紧固组件，所述紧固组件包括螺栓和开设于所述基座上的螺纹孔，所述螺栓穿过所述螺纹孔将所述第一压片抵接在所述样品表面，以固定所述样品。

可选地，所述二次离子质谱的样品装载盒还包括：第二压片，所述第二压片横向插置于所述卡槽式装载仓内，并延伸至所述基座外，所述第二压片安置于所述第一压片和所述样品之间；弹簧，安装于所述卡槽式装载仓内，所述弹簧的一端抵接所述第一压片的表面，另一端抵接所述卡槽式装载仓的内壁上。

可选地，所述弹簧包括多组，并分别位于所述第一压片的边缘位置。

可选地，所述卡槽式装载仓处的基座上具有相对设置的卡槽，所述样品支撑架通过的所述卡槽活动卡合于所述卡槽式装载仓，其中，所述卡槽之间的距离是所述样品宽度的1/4～1/2。

可选地，所述样品支撑架的端面上设有滑块，所述卡槽式装载仓的侧壁上开设有滑轨，所述滑块在所述滑轨上移动，以将所述样品支撑架活动插置于所述卡槽式装载仓。

可选地，所述基座上开设有2～10个卡槽式装载仓，以装载相应数量的所述样品。

可选地，所述二次离子质谱的样品装载盒还包括挡片，所述挡片连接于所述基座的底部，其中，所述挡片上具有裸露出所述样品的待测试区域的开孔。

可选地，所述挡片为金属钽片。

可选地，所述第一压片是高度为2～8mm的矩形压块。

可选地，所述螺栓为内六角螺栓，所述内六角螺栓的直径为5～20mm。