[实用新型]一种二次离子质谱的样品装载盒有效

专利信息
申请号: 202120419724.5 申请日: 2021-02-25
公开(公告)号: CN214254343U 公开(公告)日: 2021-09-21
发明(设计)人: 余学会;刘波;张雷 申请(专利权)人: 合肥晶合集成电路股份有限公司
主分类号: H01J49/04 分类号: H01J49/04;G01N27/62
代理公司: 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 代理人: 夏苗苗
地址: 230012 安徽省合肥*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 一种 二次 离子 样品 装载
【权利要求书】:

1.一种二次离子质谱的样品装载盒,其特征在于,包括:

基座,所述基座内开设有至少一个卡槽式装载仓;

样品支撑架,活动卡合于所述卡槽式装载仓内,用于装载并支撑二次离子质谱测试用样品,所述样品支撑架上开设有孔,以裸露出所述样品的待测试区域;

第一压片,安装于所述卡槽式装载仓内,并安置于所述样品的上方;

紧固组件,所述紧固组件包括螺栓和开设于所述基座上的螺纹孔,所述螺栓穿过所述螺纹孔将所述第一压片抵接在所述样品表面,以固定所述样品。

2.根据权利要求1所述的二次离子质谱的样品装载盒,其特征在于,所述二次离子质谱的样品装载盒还包括:

第二压片,所述第二压片横向插置于所述卡槽式装载仓内,并延伸至所述基座外,所述第二压片安置于所述第一压片和所述样品之间;

弹簧,安装于所述卡槽式装载仓内,所述弹簧的一端抵接于所述第一压片的表面,另一端抵接在所述卡槽式装载仓的内壁上。

3.根据权利要求2所述的二次离子质谱的样品装载盒,其特征在于,所述弹簧包括多组,并分别位于所述第一压片的边缘位置。

4.根据权利要求1所述的二次离子质谱的样品装载盒,其特征在于,所述卡槽式装载仓处的基座上具有相对设置的卡槽,所述样品支撑架通过所述卡槽活动卡合于所述卡槽式装载仓,其中,所述卡槽之间的距离是所述样品宽度的1/4~1/2。

5.根据权利要求1所述的二次离子质谱的样品装载盒,其特征在于,所述样品支撑架的端面上设有滑块,所述卡槽式装载仓的侧壁上开设有滑轨,所述滑块在所述滑轨上移动,以将所述样品支撑架活动插置于所述卡槽式装载仓。

6.根据权利要求1所述的二次离子质谱的样品装载盒,其特征在于,所述基座上开设有2~10个卡槽式装载仓,以装载相应数量的所述样品。

7.根据权利要求1所述的二次离子质谱的样品装载盒,其特征在于,所述二次离子质谱的样品装载盒还包括挡片,所述挡片连接于所述基座的底部,其中,所述挡片上具有裸露出所述样品的待测试区域的开孔。

8.根据权利要求7所述的二次离子质谱的样品装载盒,其特征在于,所述挡片为金属钽片。

9.根据权利要求1所述的二次离子质谱的样品装载盒,其特征在于,所述第一压片是高度为2~8mm的矩形压块。

10.根据权利要求1所述的二次离子质谱的样品装载盒,其特征在于,所述螺栓为内六角螺栓,所述内六角螺栓的直径为5~20mm。

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