[实用新型]一种二次离子质谱的样品装载盒有效
申请号: | 202120419724.5 | 申请日: | 2021-02-25 |
公开(公告)号: | CN214254343U | 公开(公告)日: | 2021-09-21 |
发明(设计)人: | 余学会;刘波;张雷 | 申请(专利权)人: | 合肥晶合集成电路股份有限公司 |
主分类号: | H01J49/04 | 分类号: | H01J49/04;G01N27/62 |
代理公司: | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人: | 夏苗苗 |
地址: | 230012 安徽省合肥*** | 国省代码: | 安徽;34 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 二次 离子 样品 装载 | ||
1.一种二次离子质谱的样品装载盒,其特征在于,包括:
基座,所述基座内开设有至少一个卡槽式装载仓;
样品支撑架,活动卡合于所述卡槽式装载仓内,用于装载并支撑二次离子质谱测试用样品,所述样品支撑架上开设有孔,以裸露出所述样品的待测试区域;
第一压片,安装于所述卡槽式装载仓内,并安置于所述样品的上方;
紧固组件,所述紧固组件包括螺栓和开设于所述基座上的螺纹孔,所述螺栓穿过所述螺纹孔将所述第一压片抵接在所述样品表面,以固定所述样品。
2.根据权利要求1所述的二次离子质谱的样品装载盒,其特征在于,所述二次离子质谱的样品装载盒还包括:
第二压片,所述第二压片横向插置于所述卡槽式装载仓内,并延伸至所述基座外,所述第二压片安置于所述第一压片和所述样品之间;
弹簧,安装于所述卡槽式装载仓内,所述弹簧的一端抵接于所述第一压片的表面,另一端抵接在所述卡槽式装载仓的内壁上。
3.根据权利要求2所述的二次离子质谱的样品装载盒,其特征在于,所述弹簧包括多组,并分别位于所述第一压片的边缘位置。
4.根据权利要求1所述的二次离子质谱的样品装载盒,其特征在于,所述卡槽式装载仓处的基座上具有相对设置的卡槽,所述样品支撑架通过所述卡槽活动卡合于所述卡槽式装载仓,其中,所述卡槽之间的距离是所述样品宽度的1/4~1/2。
5.根据权利要求1所述的二次离子质谱的样品装载盒,其特征在于,所述样品支撑架的端面上设有滑块,所述卡槽式装载仓的侧壁上开设有滑轨,所述滑块在所述滑轨上移动,以将所述样品支撑架活动插置于所述卡槽式装载仓。
6.根据权利要求1所述的二次离子质谱的样品装载盒,其特征在于,所述基座上开设有2~10个卡槽式装载仓,以装载相应数量的所述样品。
7.根据权利要求1所述的二次离子质谱的样品装载盒,其特征在于,所述二次离子质谱的样品装载盒还包括挡片,所述挡片连接于所述基座的底部,其中,所述挡片上具有裸露出所述样品的待测试区域的开孔。
8.根据权利要求7所述的二次离子质谱的样品装载盒,其特征在于,所述挡片为金属钽片。
9.根据权利要求1所述的二次离子质谱的样品装载盒,其特征在于,所述第一压片是高度为2~8mm的矩形压块。
10.根据权利要求1所述的二次离子质谱的样品装载盒,其特征在于,所述螺栓为内六角螺栓,所述内六角螺栓的直径为5~20mm。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于合肥晶合集成电路股份有限公司,未经合肥晶合集成电路股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202120419724.5/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种SOP16多基岛引线框架
- 下一篇:一种电力工程施工用电缆安装调节架