[实用新型]等离子发生设备及其离子平衡度的检测装置有效

专利信息
申请号: 202120390429.1 申请日: 2021-02-22
公开(公告)号: CN214381542U 公开(公告)日: 2021-10-08
发明(设计)人: 陈友桂;闫红庆;张文星;邓宗然;金先锋;苏俊堂 申请(专利权)人: 珠海格力电器股份有限公司
主分类号: H05H1/48 分类号: H05H1/48;G01R29/12
代理公司: 北京煦润律师事务所 11522 代理人: 梁永芳
地址: 519070*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型公开了一种等离子发生设备的离子平衡度的检测装置和等离子发生设备,该装置包括:检测单元,在等离子发生设备输出离子风的情况下,自第一电极板处输出检测信号;零点补偿单元,对第一电极板处输出的检测信号进行零点补偿处理,得到零点补偿信号;比较单元,对零点补偿信号与预设的基准电压进行比较,得到比较结果,以作为等离子发生设备的离子平衡度。该方案,不需设置静电电压传感器,通过根据对设置在等离子发生设备的出风口设置不锈钢电极板和接地电极板中不锈钢电极板处的电压信号进行检测,能够得到等离子发生设备的离子平衡度,能够降低等离子发生设备的离子平衡度的检测成本。
搜索关键词: 等离子 发生 设备 及其 离子 平衡 检测 装置
【主权项】:
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