[实用新型]等离子发生设备及其离子平衡度的检测装置

权利要求书

1.一种等离子发生设备的离子平衡度的检测装置，其特征在于，包括：检测单元、零点补偿单元和比较单元；所述检测单元，包括：平行设置在所述等离子发生设备的离子风出风口的第一电极板(11)和第二电极板(12)，以及设置在所述第一电极板(11)和所述第二电极板(12)之间的绝缘柱(2)；所述第一电极板(11)电连接至所述零点补偿单元，所述第二电极板(12)接地；其中，

所述检测单元，被配置为在所述等离子发生设备输出离子风的情况下，自所述第一电极板(11)处输出检测信号；

所述零点补偿单元，被配置为对所述第一电极板(11)处输出的检测信号进行零点补偿处理，得到零点补偿信号；

所述比较单元，被配置为对所述零点补偿信号与预设的基准电压进行比较，得到比较结果，以作为所述等离子发生设备的离子平衡度。

2.根据权利要求1所述的等离子发生设备的离子平衡度的检测装置，其特征在于，所述第一电极板(11)和所述第二电极板(12)，采用大小相同的两块正方形钢板构成。

3.根据权利要求1所述的等离子发生设备的离子平衡度的检测装置，其特征在于，所述第一电极板(11)和所述第二电极板(12)，采用直径相同的两个不锈钢管防护罩构成。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的等离子发生设备的离子平衡度的检测装置，其特征在于，所述零点补偿单元，包括：信号跟随模块、信号调整模块和信号补偿模块；其中，

所述信号跟随模块，被配置为对所述第一电极板(11)处输出的检测信号进行跟随处理，得到跟随信号；

所述信号调整模块，被配置为对所述跟随信号进行信号调整，得到调整信号；

所述信号补偿模块，被配置为对所述调整信号进行信号补偿，得到零点补偿信号。

5.根据权利要求4所述的等离子发生设备的离子平衡度的检测装置，其特征在于，其中，

所述信号跟随模块，包括：电压跟随器；所述电压跟随器的供电电压，具有第一电压范围；

所述信号调整模块，包括：比较积分电路；

所述信号补偿模块，包括：零点补偿电路。

6.根据权利要求1至3中任一项所述的等离子发生设备的离子平衡度的检测装置，其特征在于，所述比较单元，包括：比较和放大模块和A/D转换模块；其中，

所述比较和放大模块，被配置为对所述零点补偿信号与预设的基准电压进行比较和放大处理，输出比较信号；

所述A/D转换模块，被配置为对所述比较信号进行模数转换，得到比较结果，以作为所述等离子发生设备的离子平衡度。

7.根据权利要求6所述的等离子发生设备的离子平衡度的检测装置，其特征在于，所述比较和放大模块，包括：运算放大器模块。

8.一种等离子发生设备，其特征在于，包括：如权利要求1至7中任一项所述的等离子发生设备的离子平衡度的检测装置。