[实用新型]等离子发生设备及其离子平衡度的检测装置

说明书

本实用新型公开了一种等离子发生设备的离子平衡度的检测装置和等离子发生设备，该装置包括：检测单元，在等离子发生设备输出离子风的情况下，自第一电极板处输出检测信号；零点补偿单元，对第一电极板处输出的检测信号进行零点补偿处理，得到零点补偿信号；比较单元，对零点补偿信号与预设的基准电压进行比较，得到比较结果，以作为等离子发生设备的离子平衡度。该方案，不需设置静电电压传感器，通过根据对设置在等离子发生设备的出风口设置不锈钢电极板和接地电极板中不锈钢电极板处的电压信号进行检测，能够得到等离子发生设备的离子平衡度，能够降低等离子发生设备的离子平衡度的检测成本。

技术领域

本实用新型属于等离子发生设备技术领域，具体涉及一种等离子发生设备的离子平衡度的检测装置和等离子发生设备，尤其涉及一种离子平衡度检测的装置、以及具有该离子平衡度检测的装置的等离子发生设备。

背景技术

离子风机等一些等离子发生设备的原理是，由固定的正负极离子针通过尖端放电来产生正负离子，正离子针产生正离子，负离子针产生负离子，当产生的正离子数量与产生的负离子数量相同时，出现离子平衡。离子平衡代表的是不带电的状态，也就是极性接近±0V的状态，离子平衡标示的就是响应的精度。等离子发生设备的离子平衡越接近0V，也就是等离子发生设备的性能越高。

但是，由于正负离子通过放电针同时产生，可能会产生正负离子的量不一致的情况，如正负离子中的某一种离子的数量过多，造成离子失衡，从而影响等离子发生设备的性能。因此检测和控制等离子发生设备的离子平衡度非常重要，相关方案中，通过在等离子发生设备的出风口设置不锈钢电极板和接地电极板，利用利用设置在等离子发生设备的出风口设置不锈钢电极板和接地电极板之间的静电电压传感器，能够得到不锈钢电极板和接地电极板之间的电压信号的大小，将该电压信号能够确定等离子设备的离子平衡度，但该静电电压传感器的成本较高。

上述内容仅用于辅助理解本实用新型的技术方案，并不代表承认上述内容是现有技术。

实用新型内容

本实用新型的目的在于，提供一种等离子发生设备的离子平衡度的检测装置和等离子发生设备，以解决通过利用设置在等离子发生设备的出风口设置不锈钢电极板和接地电极板之间的静电电压传感器，检测等离子设备的离子平衡度，但该静电电压传感器的成本较高，存在等离子发生设备的离子平衡度的检测成本高的问题，达到不需设置静电电压传感器，通过根据对设置在等离子发生设备的出风口设置不锈钢电极板和接地电极板中不锈钢电极板处的电压信号进行检测，能够得到等离子发生设备的离子平衡度，能够降低等离子发生设备的离子平衡度的检测成本的效果。

本实用新型提供一种等离子发生设备的离子平衡度的检测装置，包括：检测单元、零点补偿单元和比较单元；所述检测单元，包括：平行设置在所述等离子发生设备的离子风出风口的第一电极板和第二电极板，以及设置在所述第一电极板和所述第二电极板之间的绝缘柱；所述第一电极板电连接至所述零点补偿单元，所述第二电极板接地；其中，所述检测单元，被配置为在所述等离子发生设备输出离子风的情况下，自所述第一电极板处输出检测信号；所述零点补偿单元，被配置为对所述第一电极板处输出的检测信号进行零点补偿处理，得到零点补偿信号；所述比较单元，被配置为对所述零点补偿信号与预设的基准电压进行比较，得到比较结果，以作为所述等离子发生设备的离子平衡度。

在一些实施方式中，所述第一电极板和所述第二电极板，采用大小相同的两块正方形钢板构成。

在一些实施方式中，所述第一电极板和所述第二电极板，采用直径相同的两个不锈钢管防护罩构成。

在一些实施方式中，所述零点补偿单元，包括：信号跟随模块、信号调整模块和信号补偿模块；其中，所述信号跟随模块，被配置为对所述第一电极板处输出的检测信号进行跟随处理，得到跟随信号；所述信号调整模块，被配置为对所述跟随信号进行信号调整，得到调整信号；所述信号补偿模块，被配置为对所述调整信号进行信号补偿，得到零点补偿信号。