[实用新型]一种连续式磁控溅射生产线的冷却装置有效
| 申请号： | 202120381340.9 | 申请日： | 2021-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN214250191U | 公开（公告）日： | 2021-09-21 |
| 发明（设计）人： | 冷长志;李启炎 | 申请（专利权）人： | 浙江云度新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | F25B19/00 | 分类号： | F25B19/00;F25D17/06;C23C14/35 |
| 代理公司： | 杭州永绎专利代理事务所(普通合伙) 33317 | 代理人： | 胡英超 |
| 地址： | 315100 浙江省宁波市鄞州区投*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种连续式磁控溅射生产线的冷却装置，包括箱体，设置在箱体上的进气孔，所述进气孔上连接有进气管，其特征是所述进气管上连接有三通阀，所述三通阀上连接有氮气管和抽气管，所述氮气管另一端连接有液氮罐，所述抽气管另一端连接有抽气泵，所述箱体上还设置有风扇组件；本实用新型通过往箱体内充入液氮，在液氮气化的过程中能够吸收大量的热量，从而达到快速降温的目的，箱体上设置有风扇组件，通过电机带动风扇转动，对产品进行吹风降温的同时使液氮在气化的过程中能够保证氮气均匀的充斥整个箱体1内，使产品完全冷却，并且同时由于氮气不活泼的化学特性，不会与产品发生氧化反应，能够有效避免产品氧化，确保产品的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 连续 磁控溅射 生产线 冷却 装置 | ||
【主权项】：
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