[实用新型]一种连续式磁控溅射生产线的冷却装置

说明书

本实用新型公开了一种连续式磁控溅射生产线的冷却装置，包括箱体，设置在箱体上的进气孔，所述进气孔上连接有进气管，其特征是所述进气管上连接有三通阀，所述三通阀上连接有氮气管和抽气管，所述氮气管另一端连接有液氮罐，所述抽气管另一端连接有抽气泵，所述箱体上还设置有风扇组件；本实用新型通过往箱体内充入液氮，在液氮气化的过程中能够吸收大量的热量，从而达到快速降温的目的，箱体上设置有风扇组件，通过电机带动风扇转动，对产品进行吹风降温的同时使液氮在气化的过程中能够保证氮气均匀的充斥整个箱体1内，使产品完全冷却，并且同时由于氮气不活泼的化学特性，不会与产品发生氧化反应，能够有效避免产品氧化，确保产品的质量。

【技术领域】

本实用新型涉及磁控溅射生产领域，具体是指一种连续式磁控溅射生产线的冷却装置。

【背景技术】

磁控溅射是物理气相沉积（Physical Vapor Deposition，PVD）的一种。一般的溅射法可被用于制备金属、半导体、绝缘体等多材料，且具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力强等优点，在磁控溅射的过程中会散发大量的热量，当温度过高时会将磁控溅射设备的靶材料熔化，造成设备损坏，市面上磁控溅射冷却装置通常使用冷却水进行冷却，但是此种方式会存在冷却水管路水汽泄漏与产品发生反应导致产品氧化的现象出现，同时由于冷却水管路无法充满整个装置会导致冷却不完全的情况出现。为此，提出了一种连续式磁控溅射生产线的冷却装置。

【实用新型内容】

本实用新型的目的是为了解决磁控溅射装置冷却不完全和产品已发生氧化的问题而提出一种连续式磁控溅射生产线的冷却装置。

为了达到上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：一种连续式磁控溅射生产线的冷却装置，包括箱体，设置在箱体上的进气孔，所述进气孔上连接有进气管，其特征是所述进气管上连接有三通阀，所述三通阀上连接有氮气管和抽气管，所述氮气管另一端连接有液氮罐，所述抽气管另一端连接有抽气泵，所述箱体上还设置有风扇组件。

进一步优选的：所述风扇组件包括安装在箱体上支架，安装在支架上的电机，以及与电机连接的风扇。

进一步优选的：所述电机上设置有输出轴，所述输出轴上连接有联轴器，所述联轴器另一端安装有转动轴，所述风扇上设置有轴套，所述风扇通过轴套安装在转动轴上。

进一步优选的：所述抽气管上还连接有波纹管。

本实用新型的有益效果：

1.本实用新型通过往箱体内充入液氮，在液氮气化的过程中能够吸收大量的热量，从而达到快速降温的目的，当冷却出料完成之后，通过抽气泵将箱体内的气体抽出，实现箱体内的真空环境，以便于磁控溅射的工作。

2.本实用新型在箱体上设置有风扇组件，通过电机带动风扇转动，对产品进行吹风降温的同时使液氮在气化的过程中能够保证氮气均匀的充斥整个箱体1内，使产品完全冷却，并且同时由于氮气不活泼的化学特性，不会与产品发生氧化反应，能够有效避免产品氧化，确保产品的质量。

3.本实用新型在抽气管上连接有波纹管，通过波纹管能够吸收抽气泵在工作时对抽气管产生的震动，防止因长时间的震动导致冷却装置的连接不稳定。

【附图说明】

附图1是本实用新型的结构示意图；

附图2是本实用新型部分结构剖面图。

图例说明：1、箱体；101、进气孔；102、进气管；2、三通阀；3、液氮罐；301、氮气管；4、抽气泵；401、抽气管；402、波纹管；5、风扇组件；501、支架；502、电机；5021、输出轴；503、风扇；5031、轴套；504、联轴器；505、转动轴。

具体实施方式