[实用新型]一种连续式磁控溅射生产线的冷却装置

权利要求书

1.一种连续式磁控溅射生产线的冷却装置，包括箱体（1），设置在箱体（1）上的进气孔（101），所述进气孔（101）上连接有进气管（102），其特征是所述进气管（102）上连接有三通阀（2），所述三通阀（2）上连接有氮气管（301）和抽气管（401），所述氮气管（301）另一端连接有液氮罐（3），所述抽气管（401）另一端连接有抽气泵（4），所述箱体（1）上还设置有风扇组件（5）。

2.根据权利要求1所述的一种连续式磁控溅射生产线的冷却装置，其特征在于：所述风扇组件（5）包括安装在箱体（1）上支架（501），安装在支架（501）上的电机（502），以及与电机（502）连接的风扇（503）。

3.根据权利要求2所述的一种连续式磁控溅射生产线的冷却装置，其特征在于：所述电机（502）上设置有输出轴（5021），所述输出轴（5021）上连接有联轴器（504），所述联轴器（504）另一端安装有转动轴（505），所述风扇（503）上设置有轴套（5031），所述风扇（503）通过轴套（5031）安装在转动轴（505）上。

4.根据权利要求1所述的一种连续式磁控溅射生产线的冷却装置，其特征在于：所述抽气管（401）上还连接有波纹管（402）。