[实用新型]355nm F-theta紫外场镜光路构造装置有效
| 申请号： | 202120381339.6 | 申请日： | 2021-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN214751055U | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | 谷朝臣;王臻 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G02B13/00 | 分类号： | G02B13/00;G02B13/14 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人： | 胡晶 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种355nm F‑theta紫外场镜光路构造装置，包括：第一透镜部件、第二透镜部件、第三透镜部件、第四透镜部件、入射光阑以及聚焦平面；所述第一透镜部件采用凸向聚焦平面的凸凹透镜；所述第二透镜部件采用凸向聚焦平面的弯月形凹凸透镜；所述第三透镜部件采用凸向聚焦平面的弯月形凹凸透镜；所述第四透镜部件采用凸向激光入射方向的弯月形凹凸透镜；所述入射光阑、第一透镜部件、第二透镜部件、第三透镜部件、第四透镜部件依次设置于355nm F‑theta紫外场镜光路构造装置中。本实用新型通过合理的光路构型，在有效保证入射光束直径的情况下，实现了大视场、高质量扫描。 | ||
| 搜索关键词： | 355 nm theta 紫外 场镜光路 构造 装置 | ||
【主权项】：
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