[实用新型]355nm F-theta紫外场镜光路构造装置

说明书

本实用新型提供了一种355nm F‑theta紫外场镜光路构造装置，包括：第一透镜部件、第二透镜部件、第三透镜部件、第四透镜部件、入射光阑以及聚焦平面；所述第一透镜部件采用凸向聚焦平面的凸凹透镜；所述第二透镜部件采用凸向聚焦平面的弯月形凹凸透镜；所述第三透镜部件采用凸向聚焦平面的弯月形凹凸透镜；所述第四透镜部件采用凸向激光入射方向的弯月形凹凸透镜；所述入射光阑、第一透镜部件、第二透镜部件、第三透镜部件、第四透镜部件依次设置于355nm F‑theta紫外场镜光路构造装置中。本实用新型通过合理的光路构型，在有效保证入射光束直径的情况下，实现了大视场、高质量扫描。

技术领域

本实用新型涉及激光打标、刻蚀等激光加工领域，具体地，涉及一种355nm F-theta紫外场镜光路构造装置。

背景技术

355nm紫外激光由于热效应小，在硅晶圆片、薄片陶瓷，以及纺织品、聚合物薄膜等一些特殊材料打标、刻蚀领域展现出很大优势，紫外场镜的设计受到光学材料透过效率影响较大，大光束直径、大扫描视场、低F-theta畸变场镜是此领域的难点。

现有F-theta紫外场镜光路多采用(-+++)四片透镜部件构型。经检索，专利文献CN101236291 A和专利文献CN105527706 A各自公开了代表的光路构型，其光束入射方向第一透镜部件多采用双凹透镜部件，第四透镜部件为双凸或平凸透镜部件，该光路构型光束经过第一透镜部件后发散角较大，第四透镜部件焦距较短，不利于实现场曲和像差控制。专利文献CN207181801 U公开了一种(-++)三片透镜部件构型，光束入射方向第一透镜部件为凸凹透镜部件的355nm紫外场镜，但是由于仅使用三片透镜部件，其像差较大，因此采用平板保护玻璃进行进一步像差修正，该构型像差和F-theta畸变依然难以得到理想控制，实施中采用的Nd/Vd＝1.52/1.64 平板玻璃具有光吸收较强、热稳定性差等问题。

实用新型内容

针对现有技术中的缺陷，本实用新型的目的是提供一种355nm F-theta紫外场镜光路构造装置。

根据本实用新型提供的一种355nm F-theta紫外场镜光路构造装置，包括：第一透镜部件、第二透镜部件、第三透镜部件、第四透镜部件、入射光阑以及聚焦平面；所述第一透镜部件采用凸向聚焦平面的凸凹透镜；所述第二透镜部件采用凸向聚焦平面的弯月形凹凸透镜；所述第三透镜部件采用凸向聚焦平面的弯月形凹凸透镜；所述第四透镜部件采用凸向激光入射方向的弯月形凹凸透镜；所述入射光阑、第一透镜部件、第二透镜部件、第三透镜部件、第四透镜部件依次设置于355nm F-theta 紫外场镜光路构造装置中。

优选地，还包括：聚焦平面；

所述聚焦平面设置于第四透镜部件的后方。

优选地，所述第一透镜部件的焦距f1与扫描场镜焦距f的比值f1/f的取值如下：

-0.41≤f1/f≤-0.28；

优选地，所述第一透镜部件的折射率Nd1的取值如下：

1.45≤Nd1≤1.51；

优选地，所述第一透镜部件的阿贝尔系数Vd1的取值如下：

54≤Vd1≤70。

优选地，所述第二透镜部件的光焦度f2与扫描场镜焦距f的比值f2/f的取值如下：

0.85≤f2/f≤1.2；

所述第二透镜部件的折射率Nd2的取值如下：

1.45≤Nd2≤1.53；

所述第二透镜部件的阿贝尔系数Vd2的取值如下：

54≤Vd2≤70。