[实用新型]355nm F-theta紫外场镜光路构造装置

权利要求书

1.一种355nm F-theta紫外场镜光路构造装置，其特征在于，包括：第一透镜部件、第二透镜部件、第三透镜部件、第四透镜部件、入射光阑以及聚焦平面；

所述第一透镜部件采用凸向聚焦平面的凸凹透镜；

所述第二透镜部件采用凸向聚焦平面的弯月形凹凸透镜；

所述第三透镜部件采用凸向聚焦平面的弯月形凹凸透镜；

所述第四透镜部件采用凸向激光入射方向的弯月形凹凸透镜；

所述入射光阑、第一透镜部件、第二透镜部件、第三透镜部件、第四透镜部件依次设置于355nm F-theta紫外场镜光路构造装置中。

2.根据权利要求1所述的355nm F-theta紫外场镜光路构造装置，其特征在于，还包括：聚焦平面；

所述聚焦平面设置于第四透镜部件的后方。

3.根据权利要求1所述的355nm F-theta紫外场镜光路构造装置，其特征在于，所述第一透镜部件的焦距f1与扫描场镜焦距f的比值f1/f的取值如下：

-0.41≤f1/f≤-0.28。

4.根据权利要求3所述的355nm F-theta紫外场镜光路构造装置，其特征在于，所述第一透镜部件的折射率Nd1的取值如下：

1.45≤Nd1≤1.51。

5.根据权利要求4所述的355nm F-theta紫外场镜光路构造装置，其特征在于，所述第一透镜部件的阿贝尔系数Vd1的取值如下：

54≤Vd1≤70。

6.根据权利要求1所述的355nm F-theta紫外场镜光路构造装置，其特征在于，所述第二透镜部件的光焦度f2与扫描场镜焦距f的比值f2/f的取值如下：

0.85≤f2/f≤1.2；

所述第二透镜部件的折射率Nd2的取值如下：

1.45≤Nd2≤1.53；

所述第二透镜部件的阿贝尔系数Vd2的取值如下：

54≤Vd2≤70。

7.根据权利要求1所述的355nm F-theta紫外场镜光路构造装置，其特征在于，所述第三透镜部件的光焦度f3与扫描场镜焦距f的比值f3/f的取值如下：

0.45≤f3/f≤0.86；

所述第三透镜部件的折射率Nd3的取值如下：

1.45≤Nd3≤1.53；

所述第三透镜部件的阿贝尔系数Vd3的取值如下：

54≤Vd3≤70。

8.根据权利要求1所述的355nm F-theta紫外场镜光路构造装置，其特征在于，所述第四透镜部件的光焦度f4与扫描场镜焦距f的比值f4/f的取值如下：

1.72≤f4/f≤3.45。

9.根据权利要求8所述的355nm F-theta紫外场镜光路构造装置，其特征在于，所述第四透镜部件的折射率Nd4的取值如下：

1.45≤Nd4≤1.53；

所述第四透镜部件的阿贝尔系数Vd4的取值如下：

54≤Vd4≤70。