[实用新型]一种分级收集式真空炉有效
| 申请号： | 202120363392.3 | 申请日： | 2021-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN214512801U | 公开（公告）日： | 2021-10-29 |
| 发明（设计）人： | 许天俊;蒋学鑫;王韶晖 | 申请（专利权）人： | 安徽壹石通材料科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B01D7/00 | 分类号： | B01D7/00 |
| 代理公司： | 合肥中博知信知识产权代理有限公司 34142 | 代理人： | 张加宽 |
| 地址： | 233400 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种分级收集式真空炉，涉及真空炉技术领域，所述分级收集式真空炉为立式结构，包括下部的加热腔室和上部的沉积腔室，所述沉积腔室内设置有分级收集器，分级收集器包括冷却装置及沿升华气流方向上下设置的多个收集单元；本实用新型可以实现形态差异较大的升华产物的分级收集，保证了产品的质量稳定性，以满足市场对不同品质产品的应用需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 分级 收集 真空炉 | ||
【主权项】：
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