[实用新型]一种分级收集式真空炉

说明书

本实用新型公开了一种分级收集式真空炉，涉及真空炉技术领域，所述分级收集式真空炉为立式结构，包括下部的加热腔室和上部的沉积腔室，所述沉积腔室内设置有分级收集器，分级收集器包括冷却装置及沿升华气流方向上下设置的多个收集单元；本实用新型可以实现形态差异较大的升华产物的分级收集，保证了产品的质量稳定性，以满足市场对不同品质产品的应用需求。

技术领域：

本实用新型涉及真空炉技术领域，具体涉及一种分级收集式真空炉。

背景技术：

真空炉是化工领域收集升华产物常用的设备，通常包括加热反应区域和沉积收集区域。现有的真空炉多以卧式为主，在生产时，升华产物附在收集管壁上，随着升华产物沉积量的增加，收集管内径逐渐变小，收集效率逐渐降低。同时，收集产物逐渐远离收集管壁，收集温度随之升高，导致副产物生成。这些副产物难以分离，影响最终的使用效能。

发明内容：

本实用新型的目的在于针对现有技术中存在的上述不足，提供一种分级收集式真空炉，以改善目前真空炉用于升华产物生产时得到的产品质量稳定性差且难以分离的问题。

本实用新型所要解决的技术问题采用以下的技术方案来实现：

一种分级收集式真空炉，为立式结构，包括下部的加热腔室和上部的沉积腔室，所述沉积腔室内设置有分级收集器，分级收集器包括冷却装置及沿升华气流方向上下设置的多个收集单元。

加热腔室用于加热反应原料形成升华产物，沉积腔室用于收集升华产物。

为了提高收集的效果，优选地，所述收集单元形状为扇形，上下交错设置，固定连接在冷却装置上，数量可根据收集组分的不同进行选择。

为了实现对产物的快速冷凝沉积，优选地，所述冷却装置内部可通入冷却介质，且流速可调，可以实现更精准的温度控制。

由于反应过程中需要通入载气，因此在所述加热腔室下部靠近反应原料的位置设置进气管，对应的出气管设置在沉积腔室上，该出气管可与外部抽真空装置连接。

优选地，所述加热腔室包括中空管、设置在中空管外周的发热体及保温材料，中空管的上端口与沉积腔室连接，下端口用做原料的进料端，与用于输送反应原料的进料装置连接。

为了便于与进料装置连接，所述中空管的下端口设置有法兰。

所述进料装置采用升降平台，升降平台上配有放置坩埚的底座，升降平台与法兰密封连接。

为了有效的监控各点温度，在原料反应位置、加热腔室和沉积腔室对接处，以及收集单元处均设置有热电偶。

由于加热腔室与沉积腔室之间的温度不同，为了减小温度干扰，所述加热腔室与沉积腔室之间设置有隔热机构，比如带孔的隔热挡板等，升华产物能够穿过隔热机构。

本实用新型的有益效果是：由于升华产物沿着上升方向温度逐渐降低，本实用新型在沉积腔室内设置分级收集器，可以实现形态差异较大的升华产物的分级收集，保证了产品的质量稳定性，以满足市场对不同品质产品的应用需求。

附图说明：

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为图1中分级收集器的示意图；

其中：1-加热腔室；2-沉积腔室；3-隔热挡板；4-进料装置；11-中空管；12-发热体；13-保温材料；14-法兰；15-进气管；21-分级收集器；211-收集单元；22-冷却装置；23-出气管；24a，24b，24c，24d，24e，42-热电偶；41-底座。

具体实施方式：

为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施例和图示，进一步阐述本实用新型。