[实用新型]一种分级收集式真空炉

权利要求书

1.一种分级收集式真空炉，为立式结构，包括下部的加热腔室(1)和上部的沉积腔室(2)，其特征在于：所述沉积腔室(2)内设置有分级收集器(21)，分级收集器包括冷却装置(22)及沿升华气流方向上下设置的多个收集单元(211)。

2.根据权利要求1所述的分级收集式真空炉，其特征在于：所述收集单元(211)形状为扇形，上下交错设置，固定连接在冷却装置(22)上。

3.根据权利要求1所述的分级收集式真空炉，其特征在于：所述冷却装置(22)内部可通入冷却介质。

4.根据权利要求1所述的分级收集式真空炉，其特征在于：所述加热腔室(1)下部靠近反应原料的位置设置进气管(15)，对应的出气管(23)设置在沉积腔室(2)上，出气管(23)与外部抽真空装置连接。

5.根据权利要求1所述的分级收集式真空炉，其特征在于：所述加热腔室(1)包括中空管(11)、设置在中空管(11)外周的发热体(12)及保温材料(13)，中空管(11)的上端口与沉积腔室(2)连接，下端口与用于输送反应原料的进料装置(4)连接。

6.根据权利要求5所述的分级收集式真空炉，其特征在于：所述中空管(11)的下端口设置有法兰(14)。

7.根据权利要求6所述的分级收集式真空炉，其特征在于：所述进料装置(4)采用升降平台，升降平台上配有放置坩埚的底座(41)，升降平台与法兰(14)密封连接。

8.根据权利要求1所述的分级收集式真空炉，其特征在于：在原料反应位置、加热腔室(1)和沉积腔室(2)对接处，以及收集单元(211)处均设置有热电偶(24a，24b，24c，24d，24e，42)。

9.根据权利要求1所述的分级收集式真空炉，其特征在于：所述加热腔室(1)与沉积腔室(2)之间设置有隔热机构。

10.根据权利要求9所述的分级收集式真空炉，其特征在于：所述隔热机构为带孔的隔热挡板(3)。