[实用新型]一种单晶加料装置有效
| 申请号： | 202120362748.1 | 申请日： | 2021-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN215163311U | 公开（公告）日： | 2021-12-14 |
| 发明（设计）人： | 高文飞 | 申请（专利权）人： | 宇泽半导体（云南）有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 王美章 |
| 地址： | 675099 云南省楚雄彝族*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种单晶加料装置，属于单晶硅技术领域。它包括炉体，其侧面开设有侧加料口；还包括外置加料机，其包括：基座；真空腔室，其滑动置于基座顶面，真空腔室上设有真空泵，内底部设有振动发生器；加料仓，其顶部与底部均开口，置于真空腔室上方，加料仓底部穿过真空腔室顶部的开口并伸入真空腔室中；波纹管，其可伸缩，真空腔室侧壁开口并与波纹管一端连通；加料盒，其一端置于真空腔室内的振动发生器上，进料口连通加料仓底部的开口；加料盒另一端穿过真空腔室侧壁开口并可从波纹管另一端伸出。本实用新型的装置加料效率高，加料过程中炉体内部压力变化波动小，且炉体内热量散失小，具有结构简单、设计合理、易于制造的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 加料 装置 | ||
【主权项】：
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